追求節(jié)省占地面積的Φ300 mm的切割機(jī)
- Φ300 mm
- 對(duì)向式雙主軸
節(jié)省空間布局
搭載了的短加工主軸。優(yōu)化了門型結(jié)構(gòu)的布局，設(shè)備主體的占地面積減少了16%。此外，可從設(shè)備的正面進(jìn)行所有的保養(yǎng)，無需在設(shè)備側(cè)面操作，包括保養(yǎng)區(qū)在內(nèi)，布局面積減少了20 %。Φ300 mm切割機(jī)于需要平列放置多臺(tái)機(jī)器的工廠。（與DFD6362相比）
以直觀的操作輔助操作人員
通過LCD觸摸屏，可在使用顯微鏡畫面的同時(shí)進(jìn)行目標(biāo)識(shí)別等操作。此外，通過設(shè)備狀況的圖表顯示和MTBA（平均輔助間隔時(shí)間）狀態(tài)顯示，操作人員可以根據(jù)圖表掌握設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)狀況。當(dāng)異常發(fā)生時(shí)畫面上會(huì)給予處理指示，以輔助故障排除操作。
高剛性主軸
采用高剛性主軸，進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)加工穩(wěn)定性。
Non-contact setup
采用NCS（非接觸式測高）, 高精度?高速地測量刀片磨損量。
同步控制切割加工軸(X,Y,Z)
預(yù)先測量放置圓晶工作臺(tái)的高度，可精確的控制刀片的切割深度。（特殊對(duì)應(yīng)）
豐富的微塵粒子對(duì)策選項(xiàng)
可選擇作為微塵粒子對(duì)策選項(xiàng)而備受好評(píng)的切割部水汽雙流體噴嘴及離心清洗部水汽雙流體噴嘴。此外，還可組合工作臺(tái)水簾，以防止加工物表面微塵粒子干燥而引起的固結(jié)。
減少保養(yǎng)空間
從日常操作到保養(yǎng)都可從設(shè)備的正面進(jìn)行。多臺(tái)并列設(shè)置時(shí)，因?yàn)闇p少了側(cè)面的維護(hù)區(qū)空間，所以在設(shè)置4臺(tái)以往機(jī)器（DFD6362）的空間中可設(shè)置5臺(tái)DFD6560。
加工物流程系統(tǒng)
- 取物夾將加工物從晶圓盒中取出，送到預(yù)校準(zhǔn)臺(tái) →
- 在預(yù)校準(zhǔn)臺(tái)進(jìn)行中心定位后，下取物手臂將加工物移到工作臺(tái) →
- 切割 →
- 上取物手臂將加工物移到離心清洗臺(tái) →
- 清洗和干燥 → 下取物手臂將加工物送到預(yù)校準(zhǔn)臺(tái) →
- 取物夾將加工物送回晶圓盒中
Specifications
| Specification | Unit | 1.8 kW | High speed (option) | |
|---|---|---|---|---|
| Max. workpiece size | mm | Φ300 | ||
| X-axis | Cutting range | mm | 310 | |
| Cutting speed | mm/s | 0.1 ～ 1,000 | ||
| Y1?Y2-axis | Cutting range | mm | 310 | |
| Index step | mm | 0.0001 | ||
| Positioning accuracy | mm | Within 0.002/310 (Single error) Within 0.002/5 | ||
| Z-axis | Max. stroke | mm | 14.2 (For Φ2 inch blade) | |
| Moving resolution | mm | 0.0000002 | ||
| Repeatability accuracy | mm | 0.001 | ||
| θ-axis | Max. rotating angle | deg | 380 | |
| Spindle | Rated torque | N?m | 0.29 | 0.19 |
| Revolution speed range | min‐1 | 6,000 ～ 60,000 | 20,000 ～ 80,000 | |
| Machine dimensions(W×D×H) | mm | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 81mm convex （left side） | |
| Machine weight | kg | Approx. 1,500 | ||
※ 為了改善，機(jī)器的外觀，特征，規(guī)格等本公司可能在未預(yù)先通知用戶的情況下實(shí)施變更。
※ 機(jī)器的使用條件，請(qǐng)先確認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格書。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
| DFD6240 | DFD6340 | DFD6341 | DFD6361 | DFD6362 | DFD6363 | DFD6450 | DFD6560 | DFD6750 | DFD6760 |
| 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) |
| 1 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 |
| 900 × 1,190 × 1,800 | 1,180 × 1,110 × 1,850 | 1,180 × 1,080 × 1,820 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,120 × 1,500 × 1,600 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,510 × 1,554 × 1,800 | 1,200 × 1,900 × 1,800 |
| 1,200 | 1,600 | 1,500 | 2,050 | 2,050 | 1,800 | 1,400 | 1,640 | 2,200 | 2,800 |
