追求節(jié)省占地面積的Φ300 mm切割機
- Φ300 mm
- 對向式雙主軸
占地面積減少16%
搭載了的短加工主軸。優(yōu)化了門型結(jié)構(gòu)的布局，設備主體的占地面積減少了16%。此外，可從設備的正面進行所有的保養(yǎng)，無需在設備側(cè)面操作，包括保養(yǎng)區(qū)在內(nèi)，布局面積減少了20 %。Φ300 mm切割機于需要平列放置多臺機器的工廠。（與DFD6362相比）
直觀的操作
通過LCD觸摸屏，可在使用顯微鏡畫面的同時進行目標識別等操作。此外，通過設備狀況的圖表顯示和MTBA（平均輔助間隔時間）狀態(tài)顯示，操作人員可以根據(jù)圖表掌握設備的運轉(zhuǎn)狀況。當異常發(fā)生時畫面上會給予處理指示，輔助故障排除操作。
提高生產(chǎn)效率
搭載了薄型切割刀架罩。縮短刀片間距離，增加了2軸同時切割的線數(shù)。在階梯式切割中，最多可提高約10 %的生產(chǎn)效率。（與DFD6362相比）
豐富的微塵粒子對策選項
可選擇作為微塵粒子對策選項而備受好評的切割部水汽雙流體噴嘴及離心清洗部水汽雙流體噴嘴。此外，還可組合工作臺水簾，以防止加工物表面微塵粒子干燥而引起的固結(jié)。
減少保養(yǎng)空間
從日常操作到保養(yǎng)都可從設備的正面進行。多臺并列設置時，因為減少了側(cè)面的維護區(qū)空間，所以在相同4臺以往機器（DFD6362）的空間內(nèi)可放置5臺DFD6560。
加工物流程系統(tǒng)
- 取物夾將加工物從晶圓盒中取出，送到預校準臺 →
- 在預校準臺進行中心定位后，下取物手臂將加工物移到工作臺 →
- 切割 →
- 上取物手臂將加工物移到離心清洗臺 →
- 清洗和干燥 → 下取物手臂將加工物送到預校準臺 →
- 取物夾將加工物送回晶圓盒中
Specifications
| Specification | Unit | 1.8 kW | High speed (option) | |
|---|---|---|---|---|
| Max. workpiece size | mm | Φ300 | ||
| X-axis | Cutting range | mm | 310 | |
| Cutting speed | mm/s | 0.1 ～ 1,000 | ||
| Y1?Y2-axis | Cutting range | mm | 310 | |
| Index step | mm | 0.0001 | ||
| Positioning accuracy | mm | Within 0.002/310 (Single error) Within 0.002/5 | ||
| Z-axis | Max. stroke | mm | 14.2 (For Φ2 inch blade) | |
| Moving resolution | mm | 0.00005 | ||
| Repeatability accuracy | mm | 0.001 | ||
| θ-axis | Max. rotating angle | deg | 380 | Spindle | Rated torque | N?m | 0.29 | 0.19 |
| Revolution speed range | min-1 | 6,000 ～ 60,000 | 20,000 ～ 80,000 | |
| Machine dimensions(W×D×H) | mm | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 81mm convex （left side） | |
| Machine weight | kg | Approx. 1,640 | ||
※ 為了改善，機器的外觀，特征，規(guī)格等本公司可能在未預先通知用戶的情況下實施變更。
※ 機器的使用條件，請先確認標準規(guī)格書。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
| DFD6240 | DFD6340 | DFD6341 | DFD6361 | DFD6362 | DFD6363 | DFD6450 | DFD6561 | DFD6750 | DFD6760 |
| 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 |
| 1 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 |
| 900 × 1,190 × 1,800 | 1,180 × 1,110 × 1,850 | 1,180 × 1,080 × 1,820 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,120 × 1,500 × 1,600 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,510 × 1,554 × 1,800 | 1,200 × 1,900 × 1,800 |
| 1,200 | 1,600 | 1,500 | 2,050 | 2,050 | 1,800 | 1,400 | 1,500 | 2,200 | 2,800 |
