導(dǎo)入了有實(shí)效的產(chǎn)能提高對策，提高了全自動(dòng)雙主軸設(shè)備的生產(chǎn)效率。
- Φ200 mm
- 對向式雙主軸
提高生產(chǎn)效率
DFD6341是適用于Φ8英寸的全自動(dòng)雙主軸切割機(jī)，導(dǎo)入了開發(fā)于Φ300 mm的DFD6362設(shè)備的提高生產(chǎn)效率的技術(shù)。采用*的主軸機(jī)構(gòu)，X軸的返回速度提高到1,000 mm / s。并且，提高了各軸的加減速性能，擴(kuò)大了速度時(shí)的移動(dòng)范圍，大幅度地提高了生產(chǎn)效率。除此之外，通過優(yōu)化零部件提高主要搬運(yùn)部的速度，通過縮短主軸之間的距離來減少雙軸切割的加工時(shí)間。
節(jié)省空間的設(shè)計(jì)
與以往機(jī)型DFD6340相比，占地面積縮小約3%。無需增大占地面積便可同時(shí)內(nèi)置變壓器、UPS（緊急供電裝置）、CO2 Injector 和升壓泵。
操作簡便
采用了以往機(jī)型中因操作簡便而備受好評GUI（Graphical User Interface），與LCD觸摸屏的組合使用，實(shí)現(xiàn)了便捷操作。
高速閃光校準(zhǔn)（選配）
氙氣閃光燈和高速快門CCD的組合，可以實(shí)現(xiàn)無需停止工作臺(tái)，便可在高速移動(dòng)的同時(shí)進(jìn)行校準(zhǔn)。減少校準(zhǔn)時(shí)間，提高生產(chǎn)效率。
加工物流程系統(tǒng)
- 下取物手臂將加工物從晶圓盒中取出，在預(yù)校準(zhǔn)臺(tái)進(jìn)行中心定位作業(yè)后，搬運(yùn)到工作臺(tái) → 切割 →
- 上取物手臂將加工物從工作臺(tái)搬運(yùn)到離心清洗臺(tái) → 清洗，干燥 →
- 下取物手臂將加工物送回晶圓盒內(nèi)
Specifications
| Specification | Unit | 1.2、1.8 kW、High speed rotation | 2.2 kW | |
|---|---|---|---|---|
| Max. workpiece size | - | Φ8 inch | ||
| X-axis | Cutting range | mm | 210 | |
| Cutting speed | mm/s | 0.1 ～ 1,000 | ||
| Y1?Y2-axis | Cutting range | mm | 210 | |
| Index step | mm | 0.0001 | ||
| Positioning accuracy | mm | Within 0.002/210 (Single error) Within 0.002/5 | ||
| Z-axis | Max. stroke | mm | 19.22 (For Φ2 inch blade) | 19.9（For Φ3 inch blade） |
| Moving resolution | mm | 0.00005 | ||
| Repeatability accuracy | mm | 0.001 | ||
| θ-axis | Max. rotating angle | deg | 380 | |
| Spindle | Rated torque | N?m | 0.19（1.2 kW/High speed rotation） 0.29（1.8 kW） | 0.7 |
| Revolution speed range | min‐1 | 6,000 ～ 60,000（1.2 kW/1.8 kW） 20,000 ～ 80,000（High speed rotation） | 3,000 ～ 30,000 | |
| Machine dimensions(W×D×H) | mm | 1,180 × 1,080 × 1,820 | ||
| Machine weight | kg | Approx. 1,500 | ||
※ 為了改善，機(jī)器的外觀，特征，規(guī)格等本公司可能在未預(yù)先通知用戶的情況下實(shí)施變更。
※ 機(jī)器的使用條件，請先確認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格書。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
| DFD6240 | DFD6340 | DFD6361 | DFD6362 | DFD6363 | DFD6450 | DFD6560 | DFD6561 | DFD6750 | DFD6760 |
| 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) |
| 1 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 |
| 900 × 1,190 × 1,800 | 1,180 × 1,110 × 1,850 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,120 × 1,500 × 1,600 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,510 × 1,554 × 1,800 | 1,200 × 1,900 × 1,800 |
| 1,200 | 1,600 | 2,050 | 2,050 | 1,800 | 1,400 | 1,640 | 1,500 | 2,200 | 2,800 |
