功能齊全，更加*的對(duì)應(yīng)Φ300 mm的切割機(jī)
- Φ300 mm
- 對(duì)向式雙主軸
- DBG
提高生產(chǎn)效率
采用對(duì)向式雙主軸結(jié)構(gòu)以及縮短兩切割刀片軸的間距，提高了生產(chǎn)效率。在Z1軸與Z2軸上同時(shí)采用了NCS（ Non-Contact Setup非接觸式測(cè)高功能/選配），從而大幅度地減少了因刀片原點(diǎn)測(cè)試(set up)而造成的切割中斷時(shí)間。
穩(wěn)定的加工品質(zhì)
通過(guò)采用增強(qiáng)徑向剛性的同步主軸™ ，提高了加工品質(zhì)的穩(wěn)定性。另外，可搭載在清洗加工物時(shí)可高效發(fā)揮清洗效果的特殊選配離心清洗部位水氣二流體清洗機(jī)構(gòu)（技術(shù)第3410385號(hào)）。
提高操作性能
為了提高更換切割刀片時(shí)的操作效率，在該設(shè)備上采用了切割刀架罩自動(dòng)開合機(jī)構(gòu)和主軸鎖定機(jī)構(gòu)。而且通過(guò)狀態(tài)監(jiān)視功能，可以掌握加工狀態(tài)和各種狀態(tài)信息。另外，搭載了切割水流量監(jiān)視功能，可通過(guò)畫面進(jìn)行切割水流量管理。以及搭載了基于GUI （Graphical User Interface）的可動(dòng)式LCD觸摸屏。
主軸陣容
標(biāo)準(zhǔn)配置為高剛性的1.2 kW主軸。除此之外，還有采用center thrust結(jié)構(gòu)，進(jìn)一步提高了剛性的1.8 kW主軸（使用2英寸切割刀片，選配）和2.2 kW主軸（使用3英寸切割刀片，選配），適用于玻璃，陶瓷等加工負(fù)載較高材料的加工。
減少占地面積
采用門式結(jié)構(gòu)以及優(yōu)化晶圓搬運(yùn)部的布局，實(shí)現(xiàn)了小型化。
加工物流程系統(tǒng)
- 取物夾將加工物從晶圓盒中取出，送到預(yù)校準(zhǔn)臺(tái) →
- 在預(yù)校準(zhǔn)臺(tái)進(jìn)行中心定位后，下取物手臂將加工物移到工作臺(tái) → 切割 →
- 上取物手臂將加工物移到離心清洗臺(tái) → 清洗和干燥 →
- 下取物手臂將加工物送到預(yù)校準(zhǔn)臺(tái) →
- 取物夾將加工物送回晶圓盒中
Specifications
| Specification | Unit | 1.2, 1.8 kW | 2.2 kW | |
|---|---|---|---|---|
| Max. workpiece size | mm | Φ300 | ||
| X-axis | Cutting range | mm | 310 | |
| Cutting speed | mm/s | 0.1 ～ 600 | ||
| Y1?Y2-axis | Cutting range | mm | 310 | |
| Index step | mm | 0.0001 | ||
| Positioning accuracy | mm | Within 0.002/310 (Single error) Within 0.002/5 | ||
| Z-axis | Max. stroke | mm | 14.7 (For Φ2 inch blade) | 14.9（For Φ3 inch blade） |
| Moving resolution | mm | 0.00005 | ||
| Repeatability accuracy | mm | 0.001 | ||
| θ-axis | Max. rotating angle | deg | 380 | |
| Spindle | Rated torque | N?m | 0.19（1.2 kW） 0.29（1.8 kW） | 0.7 |
| Revolution speed range | min‐1 | 6,000 ～ 60,000 | 3,000 ～ 30,000 | |
| Machine dimensions(W×D×H) | mm | 1,200 × 1,550 × 1,800 | ||
| Machine weight | kg | Approx. 2,050 | ||
※ 為了改善，機(jī)器的外觀，特征，規(guī)格等本公司可能在未預(yù)先通知用戶的情況下實(shí)施變更。
※ 機(jī)器的使用條件，請(qǐng)先確認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格書。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
| DFD6240 | DFD6340 | DFD6341 | DFD6362 | DFD6363 | DFD6450 | DFD6560 | DFD6561 | DFD6750 | DFD6760 |
| 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) |
| 1 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 |
| 900 × 1,190 × 1,800 | 1,180 × 1,110 × 1,850 | 1,180 × 1,080 × 1,820 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,120 × 1,500 × 1,600 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,510 × 1,554 × 1,800 | 1,200 × 1,900 × 1,800 |
| 1,200 | 1,600 | 1,500 | 2,050 | 1,800 | 1,400 | 1,640 | 1,500 | 2,200 | 2,800 |
