雙主軸切割機的標準機型
- Φ200 mm
- 對向式雙主軸
- DBG
- Package Singulation
生產(chǎn)效率可提高30%～40%
采用對向式雙主軸結構以及通過縮短刀片主軸的間距，在進行階梯式/斜角式切割加工時，可提高30%的生產(chǎn)效率，而在雙刀切割加工時，可提高40%的生產(chǎn)效率（本公司DFD651相比）。
占地面積減少17%
采用新型門式結構以及減少圓晶搬運部占有空間，與本公司的全自動切割機DFD651相比，節(jié)省了17%的占地面積。
減少電力以及壓縮空氣的消耗量
使用的節(jié)能技術，以往機型相比，壓縮空氣消耗量可減少24％，電力消耗量可減少33%。
穩(wěn)定的加工品質(zhì)
通過采用增強主軸徑向剛性的同步主軸™，提高了加工質(zhì)量的穩(wěn)定性。另外，可搭載對圓晶有更好清洗效果的特殊選配水氣雙流體離心清洗機構（技術第3410385號）。
使用雙NCS※，提高原點測試速度
在Z1軸與Z2軸上同時搭載了NCS（Non-Contact Setup 非接觸式測高功能），減少了切割的中斷時間。
※ 選配
通過兩臺顯微鏡※實現(xiàn)高速切痕檢測
兩主軸上各自搭載了高倍顯微鏡，大幅度地縮短了加工中檢查切痕的時間。
※ 選配
切割水的穩(wěn)定供給
可根據(jù)產(chǎn)品參數(shù)(Device Data)設定切割水流量，并且在加工中可監(jiān)視流量，時常實現(xiàn)穩(wěn)定的流量管理。
操作簡便
通過搭載15英寸LCD觸摸屏及圖形用戶接口GUI（Graphical User Interface），提高了操縱性。加工狀況，設備的各種狀態(tài)均可在控制畫面上同步顯示，只需觸摸控制畫面上的按鈕，就可以簡單地完成操作。此外還安裝了觀察臺，可以在全自動操作時，取出/觀察切割后的晶圓。
加工物流程系統(tǒng)
- 下取物手臂將加工物從晶圓盒中取出，在預校準臺進行中心定位作業(yè)后，搬運到工作臺 → 切割 →
- 上取物手臂將加工物從工作臺搬運到離心清洗臺 → 清洗，干燥 →
- 下取物手臂將加工物放回到晶圓盒內(nèi)
Specifications
| Specification | Unit | 1.2, 1.8 kW | 2.2 kW | |
|---|---|---|---|---|
| Max. workpiece size | - | Φ8 inch | ||
| X-axis | Cutting range | mm | 210 | |
| Cutting speed | mm/s | 0.1 ～ 600 | ||
| Y1?Y2-axis | Cutting range | mm | 210 | |
| Index step | mm | 0.0001 | ||
| Positioning accuracy | mm | Within 0.002/210 (Single error) Within 0.002/5 | ||
| Z-axis | Max. stroke | mm | 19.22 (For Φ2 inch blade) | 19.9 (For Φ3 inch blade) |
| Moving resolution | mm | 0.00005 | ||
| Repeatability accuracy | mm | 0.001 | ||
| θ-axis | Max. rotating angle | deg | 380 | |
| Spindle | Rated torque | N?m | 0.19（1.2 kW） 0.29（1.8 kW） | 0.7 |
| Revolution speed range | min‐1 | 6,000 ～ 60,000 | 3,000 ～ 30,000 | |
| Machine dimensions(W×D×H) | mm | 1,180 × 1,110 × 1,850 | ||
| Machine weight | kg | Approx. 1,600 | ||
※ 為了改善，機器的外觀，特征，規(guī)格等本公司可能在未預先通知用戶的情況下實施變更。
※ 機器的使用條件，請先確認標準規(guī)格書。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
| DFD6240 | DFD6341 | DFD6361 | DFD6362 | DFD6363 | DFD6450 | DFD6560 | DFD6561 | DFD6750 | DFD6760 |
| 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 |
| 1 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 |
| 900 × 1,190 × 1,800 | 1,180 × 1,080 × 1,820 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,120 × 1,500 × 1,600 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,510 × 1,554 × 1,800 | 1,200 × 1,900 × 1,800 |
| 1,200 | 1,500 | 2,050 | 2,050 | 1,800 | 1,400 | 1,640 | 1,500 | 2,200 | 2,800 |
