小級(jí)的單軸全自動(dòng)切割機(jī)
- Φ200 mm
- 單主軸
考慮到生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)需求的設(shè)計(jì)
通過追求框架結(jié)構(gòu)和搬運(yùn)單元布局的優(yōu)化，雖然是全自動(dòng)機(jī)器，但是實(shí)現(xiàn)了手動(dòng)機(jī)（本公司DAD3350）的占地面積（本公司DFD641相比減少了約20％）。而且還減少了電力和空氣消耗，機(jī)器的設(shè)計(jì)顧及到運(yùn)行成本和環(huán)保。除此此外，搭載了更容易掌握加工狀態(tài)和各種信息的狀態(tài)監(jiān)視功能(Condition Monitor) ，有助于日常檢查和流程管理。
提高加工品質(zhì)
通過采用為增強(qiáng)徑向剛性而新開發(fā)的同步主軸™，提高了加工品質(zhì)的穩(wěn)定性。并且，標(biāo)準(zhǔn)配置了可在觸摸式液晶顯示器上直接輸入切割水流量的監(jiān)控功能，可提供穩(wěn)定的加工結(jié)果。另外，為了有效地防止切割過程中的微粒粘附現(xiàn)象，可搭載特殊選配的切割部位水氣二流體噴射機(jī)構(gòu)，以及在清洗加工物時(shí)可高效發(fā)揮清洗效果的離心清洗部位的水氣二流體清洗機(jī)構(gòu)（已獲得技術(shù)，技術(shù)第3410385號(hào)）。
提高操作性能
為了提高更換切割刀片時(shí)的操作效率，在該設(shè)備上采用了切割刀架罩自動(dòng)開合機(jī)構(gòu)和主軸鎖定機(jī)構(gòu)，可以從設(shè)備的前方進(jìn)行更換刀片。并且搭載了LCD觸摸屏和GUI,更有效于操作的簡(jiǎn)便性。
提高生產(chǎn)效率
通過提高每個(gè)軸的移動(dòng)速度來提高生產(chǎn)效率。
主軸陣容
標(biāo)準(zhǔn)配置為高剛性的1.2 kW主軸。除此之外，還可選擇采用center thrust結(jié)構(gòu)，進(jìn)一步提高剛性的1.8 kW主軸（使用2英寸切割刀片，選配）和2.2 kW主軸（使用3英寸切割刀片，選配），適用于加工玻璃，陶瓷等加工負(fù)載較高的材料。
加工物流程系統(tǒng)
- 下取物手臂將加工物從晶圓盒中取出，在預(yù)校準(zhǔn)臺(tái)進(jìn)行中心定位作業(yè)后，搬運(yùn)到工作臺(tái) → 切割 →
- 上取物手臂將加工物從工作臺(tái)搬運(yùn)到離心清洗臺(tái) → 清洗，干燥 →
- 下取物手臂將加工物放回到晶圓盒內(nèi)
Specifications
| Specification | Unit | 1.2, 1.8 kW | 2.2 kW | |
|---|---|---|---|---|
| Max. workpiece size | - | Φ8 inch | ||
| X-axis | Cutting range | mm | 210 | |
| Cutting speed | mm/s | 0.1 ～ 600 | ||
| Y-axis | Cutting range | mm | 210 | |
| Index step | mm | 0.0001 | ||
| Positioning accuracy | mm | Within 0.003/210 (Single error) Within 0.002/5 | ||
| Z-axis | Max. stroke | mm | 19.22 (For Φ2 inch blade) | 19.9 (For Φ3 inch blade) |
| Moving resolution | mm | 0.00005 | ||
| Repeatability accuracy | mm | 0.001 | ||
| θ-axis | Max. rotating angle | deg | 380 | |
| Spindle | Rated torque | N?m | 0.19（1.2 kW） 0.29（1.8 kW） | 0.7 |
| Revolution speed range | min‐1 | 6,000 ～ 60,000 | 3,000 ～ 30,000 | |
| Machine dimensions(W×D×H) | mm | 900 × 1,190 × 1,800 | ||
| Machine weight | kg | Approx. 1,200 | ||
※ 為了改善，機(jī)器的外觀，特征，規(guī)格等本公司可能在未預(yù)先通知用戶的情況下實(shí)施變更。
※ 機(jī)器的使用條件，請(qǐng)先確認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格書。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
| DFD6340 | DFD6341 | DFD6361 | DFD6362 | DFD6363 | DFD6450 | DFD6560 | DFD6561 | DFD6750 | DFD6760 |
| 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) |
| 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 |
| 1,180 × 1,110 × 1,850 | 1,180 × 1,080 × 1,820 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,120 × 1,500 × 1,600 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,510 × 1,554 × 1,800 | 1,200 × 1,900 × 1,800 |
| 1,600 | 1,500 | 2,050 | 2,050 | 1,800 | 1,400 | 1,640 | 1,500 | 2,200 | 2,800 |
