可研磨最小R角0.03mm
采用伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng),最小0.001mm進(jìn)給
采用CCD影像系統(tǒng),可精確定位、觀察
采用高精密機(jī)械主軸,旋轉(zhuǎn)段跳精度0.002mm,徑跳0.002mm
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