硅晶圓、藍寶石晶圓用斜面磨削砂輪、棘輪
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用于半導(dǎo)體材料基板的斜面磨削加工用砂輪。
該產(chǎn)品具有均一而微小的磨粒層結(jié)構(gòu),并采用高精度的精加工技術(shù),修整后缺陷少、質(zhì)量好、加工精度高。
除用于加工外周及凹槽的砂輪外,還備有單槽型、多槽型、精粗加工混合型等3種砂輪。
特點
- 修整少
- 可進行高精度加工
- 砂輪的使用壽命長
- 可降低加工成本
標(biāo)準(zhǔn)選定
用途 | 藍寶石加工 | 硅加工 | ||
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注重切削鋒利度 | 標(biāo)準(zhǔn) | 注重耐用性 | ||
結(jié)合劑種類 | L-MSF | N-MB00 | P-MB01 | R-MB02 |
加工示例
硅晶圓斜面磨削 | 藍寶石晶圓斜面磨削 | ||
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外周加工用 | 砂輪尺寸 | φ202×20T×19U×30H×3.7X | φ202×20T×19U×30H×3.7X |
砂輪規(guī)格 | SD800/1500 P - MB01 | SD400 L - MSF | |
凹槽加工用 | 砂輪尺寸 | φ3.8×36L×11T×8U×1.4X | φ3.8×36L×11T×8U×1.4X |
砂輪規(guī)格 | SD800/1500 P - MB01 | SD400 L - MSF |