特點(diǎn):基準(zhǔn)面的真直度精度,左右方向0.5μm/m、前後方向0.5μm/m
1.獨(dú)立的橫樑構(gòu)造為了因應(yīng)像是超高精度平面加工的要求,像是XY床臺(tái)用定盤(pán)及半導(dǎo)體、液晶裝置相關(guān)性配件加工,被橫樑保有2種滑軌(橫軸、回旋軸)是用來(lái)維持真直度,如此構(gòu)成獨(dú)特的機(jī)械調(diào)整裝置(申請(qǐng)?jiān)S可中)。不只是重視橫樑方向(前後方向)精度,也能同時(shí)重視作業(yè)面積所有寬的平面精度。
2.採(cǎi)用可變靜壓滑動(dòng)系統(tǒng)床臺(tái)左右的導(dǎo)軌面及橫樑上,加強(qiáng)採(cǎi)用了岡本獨(dú)特的可變靜壓滑動(dòng)系統(tǒng)。這種方法可彈性控制流量,導(dǎo)軌面油膜的變化降到最小減輕床臺(tái)負(fù)荷,並持續(xù)保持導(dǎo)軌面的一定溝數(shù)。與固定油量加壓的靜壓方式比起來(lái),導(dǎo)軌面的剛性可高出4倍之多。
3.溫度管理系統(tǒng)本機(jī)型必須於裝配的同時(shí)一邊注意精度變化,並且在23℃±0.5℃恆溫隔間的嚴(yán)密溫度管理下完成組裝。除此之外,集中檢測(cè)出橫樑下方、主軸靜壓油溫、摺動(dòng)面靜壓油溫、冷卻式水溫、主軸蓋等等10個(gè)地方的溫度,並採(cǎi)用空調(diào)管理系統(tǒng)保持狀態(tài)。