超精密高剛性龍門(mén)式平面磨床 UDG10035NC ”終極平面磨床之大創(chuàng)成”做到平面度30nm/m的級(jí)精度砂輪顆粒平面加工的岡本，以其加工範(fàn)圍長(zhǎng)10m、寬3.5m(通過(guò)寬度4m)的靜壓導(dǎo)軌面方式，完成一臺(tái)大的門(mén)型磨床。
特點(diǎn)：基準(zhǔn)面的真直度精度，左右方向0.5μm/m、前後方向0.5μm/m

1.獨(dú)立的橫樑構(gòu)造為了因應(yīng)像是超高精度平面加工的要求，像是XY床臺(tái)用定盤(pán)及半導(dǎo)體、液晶裝置相關(guān)性配件加工，被橫樑保有2種滑軌(橫軸、回旋軸)是用來(lái)維持真直度，如此構(gòu)成獨(dú)特的機(jī)械調(diào)整裝置(申請(qǐng)?jiān)S可中)。不只是重視橫樑方向(前後方向)精度，也能同時(shí)重視作業(yè)面積所有寬的平面精度。

2.採(cǎi)用可變靜壓滑動(dòng)系統(tǒng)床臺(tái)左右的導(dǎo)軌面及橫樑上，加強(qiáng)採(cǎi)用了岡本獨(dú)特的可變靜壓滑動(dòng)系統(tǒng)。這種方法可彈性控制流量，導(dǎo)軌面油膜的變化降到最小減輕床臺(tái)負(fù)荷，並持續(xù)保持導(dǎo)軌面的一定溝數(shù)。與固定油量加壓的靜壓方式比起來(lái)，導(dǎo)軌面的剛性可高出4倍之多。

3.溫度管理系統(tǒng)本機(jī)型必須於裝配的同時(shí)一邊注意精度變化，並且在23℃±0.5℃恆溫隔間的嚴(yán)密溫度管理下完成組裝。除此之外，集中檢測(cè)出橫樑下方、主軸靜壓油溫、摺動(dòng)面靜壓油溫、冷卻式水溫、主軸蓋等等10個(gè)地方的溫度，並採(cǎi)用空調(diào)管理系統(tǒng)保持狀態(tài)。