藍寶石、SiC、GaN用金剛線線切機。
TWG-300是以使用金剛磨粒為前提開發(fā)的金剛線線切機。因采用可限度發(fā)揮出金剛線性能的技術(shù),在進行φ4英寸的藍寶石鑄晶棒的切割時,也可實現(xiàn)
[1]2倍的生產(chǎn)效率(切割時間為舊款設(shè)備的一半)
[2]TTV10μm、BOW10μm的高精度加工
[3]線使用量15m/片以下的低加工成本。
TWG-300上新搭載了可使鋼線導(dǎo)向軸搖動的新型搖動框架,可高效切割難以磨削的材料。除了牢固的基本構(gòu)造外,還采用了將搖動機構(gòu)一體化的高剛性框架構(gòu)造等,提高了設(shè)備整體的剛性。并且,還采用了防止鋼線發(fā)生扭曲和斜行的走線控制、鋼線的張力保持不變的張力控制等,從而限度發(fā)揮出金剛線的切割性能。除此以外,還搭載了大功率電機等,即使在高負荷時也可進行高速且正確的切割,實現(xiàn)了走線速度1,500m/分的高速化,以及在加減速時間1.5秒下的高速往返切割。另外,還采用了可根據(jù)切割位置設(shè)置線速度、搖動速度、搖動角度等各種條件的曲線控制。利用此功能,在進行難磨削材料的切割時,也可確保高生產(chǎn)效率、高精度加工和低運行成本。
主要規(guī)格 | TWG-300 | |
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安裝尺寸 (正面寬×縱深×高) | mm | 1,700×3,505×2,880 |
晶棒尺寸 | mm | φ150 |
鋼線導(dǎo)向軸數(shù) | 本 | 2 |
晶棒長度 | mm | 300 |
走線速度 | m/分 | 1,500 |