超精密旋轉(zhuǎn)式平面磨床
適用於超高速主軸間隙背板加工及CD-光碟金屬模之磨床前所未見(jiàn)！
Okamoto向您展現(xiàn)圓形加工領(lǐng)域中層次！
■迴轉(zhuǎn)式床臺(tái)採(cǎi)用於半導(dǎo)體微薄矽晶片磨床中具銷售實(shí)績(jī)高級(jí)精度氣壓式軸承，床臺(tái)左右進(jìn)給搭載超精密可變靜壓軌道。
■上下進(jìn)給高剛性直線運(yùn)動(dòng)軌道以微細(xì)進(jìn)給對(duì)應(yīng)，主軸頭上下方向剛性達(dá)120kg/μm。位移控制用光學(xué)尺回饋方式可保證上下進(jìn)給10nm之動(dòng)態(tài)精度。
■電腦螢?zāi)惠o助尺寸自動(dòng)測(cè)定－高速主軸之間隙背板內(nèi)外兩輪軸承之密合間隙量需要極精確且加上背壓之內(nèi)外軸承之尺寸測(cè)定管理極為重要。使用此方式工作物不用取下來(lái)量測(cè)同時(shí)就可以進(jìn)行精修。