超精密高剛性龍門式平面磨床 UDG10035NC ”終極平面磨床之大創(chuàng)成” 做到平面度30nm/m的級精度砂輪顆粒平面加工的岡本,以其加工範(fàn)圍長10m、寬3.5m(通過寬度4m)的靜壓導(dǎo)軌面方式,完成一臺大的門型磨床。
特點:基準(zhǔn)面的真直度精度,左右方向0.5μm/m、前後方向0.5μm/m
1.獨立的橫樑構(gòu)造為了因應(yīng)像是超高精度平面加工的要求,像是XY床臺用定盤及半導(dǎo)體、液晶裝置相關(guān)性配件加工,被橫樑保有2種滑軌(橫軸、回旋軸)是用來維持真直度,如此構(gòu)成獨特的機械調(diào)整裝置(申請許可中)。不只是重視橫樑方向(前後方向)精度,也能同時重視作業(yè)面積所有寬的平面精度。
2.採用可變靜壓滑動系統(tǒng)床臺左右的導(dǎo)軌面及橫樑上,加強採用了岡本獨特的可變靜壓滑動系統(tǒng)。這種方法可彈性控制流量,導(dǎo)軌面油膜的變化降到最小減輕床臺負(fù)荷,並持續(xù)保持導(dǎo)軌面的一定溝數(shù)。與固定油量加壓的靜壓方式比起來,導(dǎo)軌面的剛性可高出4倍之多。
3.溫度管理系統(tǒng)本機型必須於裝配的同時一邊注意精度變化,並且在23℃±0.5℃恆溫隔間的嚴(yán)密溫度管理下完成組裝。除此之外,集中檢測出橫樑下方、主軸靜壓油溫、摺動面靜壓油溫、冷卻式水溫、主軸蓋等等10個地方的溫度,並採用空調(diào)管理系統(tǒng)保持狀態(tài)。