超精密氣靜壓平面數(shù)控磨床
“ZCS-QPM250超精密氣靜壓三軸氣浮數(shù)控平面磨床” ，采用氣靜壓砂輪電主軸，X/Y二軸高精密氣浮導(dǎo)軌。臺(tái)達(dá)PLC、臺(tái)達(dá)伺服電機(jī)和驅(qū)動(dòng)器組成伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。使整機(jī)達(dá)到平面度0.5um（100mm×100mm），表面粗糙度Ra0.1um的加工精度。具體參數(shù)如下：
一、技術(shù)特點(diǎn)：
該磨床采用氣靜壓砂輪電主軸、X/Y二軸高精密氣浮導(dǎo)軌，Z軸（砂輪軸）采用高精度光柵尺數(shù)顯系統(tǒng)，三級(jí)精密過(guò)濾器組成超精密氣靜壓平面磨床的加工軸系。使整機(jī)達(dá)到平面度0.5um（100mm×100mm），表面粗糙度Ra0.1um的加工精度。
工作臺(tái)的前后運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)采用精密滾珠絲杠加臺(tái)達(dá)PLC和伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)，具備緩沖換向功能。磨頭上下采用手動(dòng)進(jìn)給。具有快進(jìn)、慢進(jìn)、微進(jìn)給，自動(dòng)、手動(dòng)功能，操作方便、靈活可靠、無(wú)振動(dòng)、精度穩(wěn)定、熱穩(wěn)定性好、噪聲低、維護(hù)保養(yǎng)方便等特點(diǎn)。
X/Y二軸采用高精密氣靜壓(氣浮)導(dǎo)軌，具有高承載、高精度，高平穩(wěn)性，無(wú)摩擦，長(zhǎng)壽命等性能。
砂輪主軸采用臺(tái)達(dá)系列變頻控制器實(shí)現(xiàn)無(wú)級(jí)調(diào)速。
該磨床在氣路、水路進(jìn)口處加有壓力傳感器，具有過(guò)流、過(guò)載、氣壓低下限、以及冷卻水?dāng)嗔鞯裙收蠄?bào)警保護(hù)功能。
二、超精密氣靜壓平面數(shù)控磨床整機(jī)主要技術(shù)參數(shù)表
| ZCS-QPM250超精密氣靜壓平面數(shù)控磨床 | ||||
| 項(xiàng)目 | 單位 | 尺寸 | ||
| 工作臺(tái) | 臺(tái)面行程（寬*長(zhǎng)） | mm | 250*500 | |
| 磨削尺寸（寬*長(zhǎng)*高） | mm | 260*580*380 | ||
| 工作臺(tái)（X軸）縱向行程（伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)） | mm | 550 | ||
| 工作臺(tái)（Y軸）橫向行程（伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)） | mm | 250 | ||
| 工作臺(tái)(X軸）縱向移動(dòng)速度（無(wú)級(jí)調(diào)速） | m/min | 3-20 | ||
| 手輪每轉(zhuǎn)進(jìn)給量 | 最小垂直進(jìn)給 | mm | 0.001 | |
| 最小橫向進(jìn)給 | mm | 0.001 | ||
| 工作臺(tái)T型槽（槽數(shù)*槽寬） | mm | 1*14 | ||
| 工作臺(tái)承載量 | kg | 280 | ||
| 磨頭 | 砂輪軸中心線至工作臺(tái)面距離（上下電動(dòng)快升快降） | mm | 470 | |
| 磨頭垂直進(jìn)給最小量 | mm | 0.001 | ||
| 128萬(wàn)線臺(tái)達(dá)高精度伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)最小分辨率 | mm | 0.0001 | ||
| 砂輪軸轉(zhuǎn)速變頻調(diào)速 | r/min | 0-4000 | ||
| 砂輪尺寸（外徑*寬*內(nèi)徑） | mm | ∮200*20*∮31.75 | ||
| 砂輪電主軸徑向跳動(dòng) | mm | 0.0001 | ||
| 砂輪電主軸動(dòng)態(tài)全速度范圍內(nèi)振動(dòng)量 | mm | ≤0.3mm/s | ||
| 工作精度 | 加工表面對(duì)基面的平行度 | um | 100:0.5 | |
| 表面精糙度 | um | Ra0.1 | ||
| 導(dǎo)軌 | X高精密氣靜壓（氣浮）導(dǎo)軌承載力 | kg | 2000 | |
| Y高精密氣靜壓（氣浮）導(dǎo)軌承載力 | kg | 1000 | ||
| 機(jī)床重量 | 毛重 | kg | 1100 | |
| 凈重 | kg | 1000 | ||
| 外形尺寸（長(zhǎng)*寬*高） | mm | 1700*1300*1800 | ||
| 機(jī)床總功率 | kw | 5 | ||
