半導(dǎo)電電阻率測(cè)試儀參數(shù)

1.   便于查看的顯示/直觀的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示；操作易學(xué)，直觀使用；

2.   基本設(shè)置操作簡(jiǎn)單，方阻、電阻、電阻率、電導(dǎo)率和分選結(jié)果；多種參數(shù)同時(shí)顯示。

3.   精度高：電阻基本準(zhǔn)確度： 0.05％；方阻基本準(zhǔn)確度：3%；電阻率基本準(zhǔn)確度：3%

4.   整機(jī)測(cè)量相對(duì)誤差：≤±3%；整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度：≤±3%

5.        四位半顯示讀數(shù)；八量程自動(dòng)或手動(dòng)測(cè)試；

6.        測(cè)量范圍寬： 電阻：10^-4Ω－10⁵Ω ；方阻：10^-4Ω/□－10⁵Ω/□；

7.   正反向電流源修正測(cè)量電阻誤差

8.   恒流源：電流量程分為： 1uA、10uA、100uA、1mA、10mA 、100mA六檔；儀器配有恒流源開關(guān)可有效保護(hù)被測(cè)件，即先讓探針頭壓觸在被測(cè)材料上，后開恒流源開關(guān)，避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率，如探針帶電壓觸單晶對(duì)材料及測(cè)量并無(wú)影響時(shí)，恒流源開關(guān)可一直處于開的狀態(tài)。

9.   可配合多種探頭進(jìn)行測(cè)試；也可配合多種測(cè)試臺(tái)進(jìn)行測(cè)試。

10.  校正功能：可手動(dòng)或自動(dòng)選擇測(cè)試量程 全量程自動(dòng)清零。

11.  厚度可預(yù)設(shè)，自動(dòng)修正樣品的電阻率,無(wú)需查表即可計(jì)算出電阻率。

12.  自動(dòng)進(jìn)行電流換向,并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測(cè)量,顯示出平均值.測(cè)薄片時(shí),可自動(dòng)進(jìn)行厚度修正。

13.  雙電測(cè)測(cè)試模式，測(cè)量精度高、穩(wěn)定性好.

14.  具備溫度補(bǔ)償功能，修正被測(cè)材料溫漂帶來(lái)的測(cè)試結(jié)果偏差。

15.  比較器判斷燈直接顯示，勿需查看屏幕，作業(yè)效率得以提高。

3檔分選功能：超上限，合格，超下限，可對(duì)被測(cè)件進(jìn)行HI/LOW判斷，可直接在LCD使用標(biāo)志顯示；也可通過(guò)USB接口、RS232接口輸出更為詳細(xì)的分選結(jié)果。

16.  測(cè)試模式：可連接電腦測(cè)試、也可不連接電腦單機(jī)測(cè)試。

17.  豐富的接口，Handler接口、RS232接口、USB HOST、USB DEVICE。實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制。U盤可記錄測(cè)試數(shù)據(jù)

18.  軟件功能（選配）：軟件可記錄、保存、各點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù)；可供用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。

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半導(dǎo)電電阻率測(cè)試儀傳統(tǒng)四探針方法的原理如圖 1 所示,局限于 I14 V 23 單一狀態(tài),它要求探針間距相等,被測(cè)物較小或探針在邊界附近,需做幾何測(cè)量繼而進(jìn)行邊界修正,造成不便且有時(shí)難以保證準(zhǔn)確度. 這種方法只是普遍規(guī)律中的一個(gè)特例 ,并非四探針技術(shù)之全貌. 所謂雙電測(cè)是指讓電流先后通過(guò)不同的探針對(duì),測(cè)量相應(yīng)另外兩針間電壓,進(jìn)行組合,按相關(guān)的公式求出電阻值. 這時(shí)幾何影響消失,針距和邊界的負(fù)面效應(yīng)將不存在,四探針將實(shí)現(xiàn)“自我修正”,誤差減小. 雙電測(cè)法共有三種組合模式,即 Mode1 、Mode2 、Mode3 

1.  測(cè)試參數(shù)：電阻、方阻、電阻率、電導(dǎo)率

2.  測(cè)試模式：雙電測(cè)

3.  精度：電阻基本精度：≤20mΩ 0.2％

20mΩ－200KΩ 0.05％

方阻基本精度：≤3％

電阻率基本精度：方阻≤3％

整機(jī)測(cè)量相對(duì)誤差：≤±5%；

4.  整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度：≤±3%

5.  電流模式：正向、反向、雙向

6.  恒流源：電流量程分為： 1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。

7.  可手動(dòng)或自動(dòng)選擇測(cè)試量程。

8.  測(cè)量范圍： 電阻：10^-4Ω－2*10⁵Ω

方阻：10^-4Ω/□－2*10⁵Ω/□

電阻率和電導(dǎo)率范圍由儀器內(nèi)部公式計(jì)算得到

9.  顯示范圍：四位半數(shù)字顯示讀數(shù)。

10.  測(cè)試端：4 端屏蔽（包括 2 個(gè)檢測(cè)端和 2 個(gè)驅(qū)動(dòng)端）和外屏蔽地端。

11.  3檔分選功能：不合格，合格

12.  環(huán)境：

1)   儲(chǔ)存：溫度 0℃～ 50℃ 濕度 <80% RH

2)   工作：溫度0℃～ 40℃ 濕度<80% RH

13.  電源：AC輸入電壓： 198～ 242V（220± 10 ％）頻率：50/60Hz，功率：30VA

保險(xiǎn)絲：0.5A 慢熔

14.  重量：約 4.8kg （帶包裝重量）。凈重：約3.8kg

15.  隨機(jī)附件：使用說(shuō)明書、測(cè)試報(bào)告、質(zhì)保證書、保修卡、裝箱單、儀器、電源

線 、保險(xiǎn)絲、 USB通訊線  RS232通訊線、四端測(cè)試線、測(cè)試探頭(含探針)

（任選一種）

測(cè)試探頭：按需選擇探針材料和探針間距,詳情見探頭探針選型表測(cè)試架：

按需選擇不同的測(cè)試架