半導(dǎo)電電阻率測試儀參數(shù)
1. 便于查看的顯示/直觀的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示；操作易學(xué)，直觀使用；
2. 基本設(shè)置操作簡單，方阻、電阻、電阻率、電導(dǎo)率和分選結(jié)果；多種參數(shù)同時顯示。
3. 精度高：電阻基本準確度： 0.05％；方阻基本準確度：3%；電阻率基本準確度：3%
4. 整機測量相對誤差：≤±3%；整機測量標準不確定度：≤±3%
5. 四位半顯示讀數(shù)；八量程自動或手動測試；
6. 測量范圍寬： 電阻：10-4Ω－105Ω ；方阻：10-4Ω/□－105Ω/□；
7. 正反向電流源修正測量電阻誤差
8. 恒流源：電流量程分為： 1uA、10uA、100uA、1mA、10mA 、100mA六檔；儀器配有恒流源開關(guān)可有效保護被測件，即先讓探針頭壓觸在被測材料上，后開恒流源開關(guān)，避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率，如探針帶電壓觸單晶對材料及測量并無影響時，恒流源開關(guān)可一直處于開的狀態(tài)。
9. 可配合多種探頭進行測試；也可配合多種測試臺進行測試。
10. 校正功能：可手動或自動選擇測試量程 全量程自動清零。
11. 厚度可預(yù)設(shè)，自動修正樣品的電阻率,無需查表即可計算出電阻率。
12. 自動進行電流換向,并進行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測量,顯示出平均值.測薄片時,可自動進行厚度修正。
13. 雙電測測試模式，測量精度高、穩(wěn)定性好.
14. 具備溫度補償功能，修正被測材料溫漂帶來的測試結(jié)果偏差。
15. 比較器判斷燈直接顯示，勿需查看屏幕，作業(yè)效率得以提高。
3檔分選功能：超上限，合格，超下限，可對被測件進行HI/LOW判斷，可直接在LCD使用標志顯示；也可通過USB接口、RS232接口輸出更為詳細的分選結(jié)果。
16. 測試模式：可連接電腦測試、也可不連接電腦單機測試。
17. 豐富的接口，Handler接口、RS232接口、USB HOST、USB DEVICE。實現(xiàn)遠程控制。U盤可記錄測試數(shù)據(jù)
18. 軟件功能（選配）：軟件可記錄、保存、各點的測試數(shù)據(jù)；可供用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析。
序號 | 功能 | 存儲地址 | 數(shù)據(jù) | |||
小數(shù)點前 3 位+后 5 位(30h-39h,即 ASCII 的 0-9) | ||||||
01 | 設(shè)置電阻上限 | 10A1H | + 單位 (u Ω ,m Ω , Ω ,k Ω ,M Ω ; 對應(yīng)的 16 進制碼為 | |||
75h,6dh,4f,6b,4dh,即 ASCII 的 u,m,O,k,M) | ||||||
+00H | ||||||
02 | 設(shè)置電阻下限 | 10A2H | 同上 | |||
03 | 設(shè)置方阻上限 | 10A3H | 同上 | |||
04 | 設(shè)置方阻下限 | 10A4H | 同上 | |||
小數(shù)點前 3 位+后 5 位(30h-39h,即 ASCII 的 0-9) | ||||||
+單位 1(uΩ ,mΩ ,Ω ,kΩ ,MΩ;對應(yīng)的 16 進制碼為 | ||||||
05 | 設(shè)置電阻率上限 | 10A5H | 75h,6dh,4f,6b,4dh,即 ASCII 的 u,m,O,k,M) | |||
+單位 2(16 進制碼對應(yīng)的含義:00H 為 m,01H 為 cm,02H | ||||||
為 mm,03H 為 um,04H 為 nm) | ||||||
06 | 設(shè)置電阻率下限 | 10A6H | 同上 | |||
07 | 設(shè)置電導(dǎo)率上限 | 10A7H | 同上 | |||
08 | 設(shè)置電導(dǎo)率下限 | 10A8H | 同上 | |||
09 | 設(shè)置探針間距 | 10A9H | 小數(shù)點前 3 位+后 5 位(30h-39h,即 ASCII 的 0-9) | |||
+00H 00H | ||||||
小數(shù)點前 3 位+后 5 位(30h-39h,即 ASCII 的 0-9) | ||||||
10 | 設(shè)置樣品厚度 | 10AAH | +單位(16 進制碼對應(yīng)的含義:00H 為 mm,01H 為 um,02H | |||
為 nm)+00H | ||||||
11 | 設(shè)置溫度系數(shù) | 10A0H | 符號（+(2bh)/-(2dh))+小數(shù)點后 6 位(數(shù)字 30h-39h) | |||
00H 00H 00H | ||||||
10 | 設(shè)置探針形狀 | 10ACH | 直排(00H)或方形(01H) 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H | |||
00H 00H | ||||||
07 | 設(shè)置單位轉(zhuǎn)換 | 10ADH | 單位轉(zhuǎn)換(00H:m 01H:cm 02H:mm 03H:um 04H:nm) 00H | |||
00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H | ||||||
08 | 設(shè)置速度 | 10AEH | 速度(00H:快 01H:慢) 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H | |||
00H | ||||||
量程(00H:自動 01H:200mΩ 02H:2Ω 03H:20Ω | ||||||
09 | 設(shè)置量程 | 10B1H | 04H:200Ω 05H:2KΩ 06H:20KΩ 07H:200KΩ 08H:2M | |||
Ω) | 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H | |||||
測量模式(00H:雙電測 01H:單電測雙向 02H:單電測正 | ||||||
010 | 設(shè)置測量模式 | 10B2H | 向 03H:單電測反向) | 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H | ||
00H | ||||||
011 | 設(shè)置清零 | 10B3H | 清零(00H:關(guān) 01H:開) | 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H | ||
00H 00H | ||||||
012 | 設(shè)置溫補開關(guān) | 10B4H | 溫補(00H:關(guān) 01H:開) | 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H | ||
40
00H | 00H | ||||||||||
013 | 設(shè)置補償溫度 | 10B5H | 符號（+(2bh)/-(2dh))+十位+個位(30h-39h,即 ASCII | ||||||||
的 0-9) | 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H | ||||||||||
十位+個位(30h-39h,即 ASCII 的 0-9).如要設(shè)置平均為 | |||||||||||
014 | 設(shè)置平均 | 10B6H | 98.則數(shù)據(jù)位為 39H+38H+00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H | ||||||||
00H | |||||||||||
015 | 設(shè)置訊響 | 10B7H | 訊響(0:合格 1:不合格 2:關(guān)) | 00H 00H 00H 00H 00H | |||||||
00H | 00H | 00H | 00H | ||||||||
019 | 設(shè)置觸發(fā)源 | 10B8H | 觸發(fā)源(00H | 內(nèi)部 01H:外部) | 00H 00H 00H 00H 00H 00H | ||||||
00H | 00H | 00H | |||||||||
021 | 設(shè)置觸發(fā)沿 | 10B9H | 觸發(fā)沿(0:下降沿 1:上升沿) | 00H 00H 00H 00H 00H 00H | |||||||
00H | 00H | 00H | |||||||||
022 | 設(shè)置按鍵音 | 10BAH | 按鍵音(00H:關(guān) 01H:開) | 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H | |||||||
00H | 00H | ||||||||||
024 | U 盤記錄按鈕 | 10BBH | U 盤開關(guān)(00H:關(guān) 01H:開) | 00H 00H 00H 00H 00H 00H | |||||||
00H | 00H | 00H | |||||||||
025 | 觸發(fā)信號 | 10BCH | 01H 00H | 00H | 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H | ||||||
026 | 顯示開關(guān) | 10BDH | 顯示開關(guān)(00H:開 01H:關(guān)) 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H | ||||||||
00H | 00H | ||||||||||
027 | 參數(shù)切換 | 10BEH | 01H 00H | 00H | 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H | ||||||
028 | 電流模式 | 10C1H | 電流模式(00H:小電流 01H:大電流) 00H 00H 00H 00H | ||||||||
00H | 00H | 00H | 00H 00H | ||||||||
029 | 電流開關(guān) | 10C2H | 00H 00H | 00H | 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H | ||||||
半導(dǎo)電電阻率測試儀傳統(tǒng)四探針方法的原理如圖 1 所示,局限于 I14 V 23 單一狀態(tài),它要求探針間距相等,被測物較小或探針在邊界附近,需做幾何測量繼而進行邊界修正,造成不便且有時難以保證準確度. 這種方法只是普遍規(guī)律中的一個特例 ,并非四探針技術(shù)之全貌. 所謂雙電測是指讓電流先后通過不同的探針對,測量相應(yīng)另外兩針間電壓,進行組合,按相關(guān)的公式求出電阻值. 這時幾何影響消失,針距和邊界的負面效應(yīng)將不存在,四探針將實現(xiàn)“自我修正”,誤差減小. 雙電測法共有三種組合模式,即 Mode1 、Mode2 、Mode3
1. 測試參數(shù)：電阻、方阻、電阻率、電導(dǎo)率
2. 測試模式：雙電測
3. 精度：電阻基本精度：≤20mΩ 0.2％
20mΩ－200KΩ 0.05％
方阻基本精度：≤3％
電阻率基本精度：方阻≤3％
整機測量相對誤差：≤±5%；
4. 整機測量標準不確定度：≤±3%
5. 電流模式：正向、反向、雙向
6. 恒流源：電流量程分為： 1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。
7. 可手動或自動選擇測試量程。
8. 測量范圍： 電阻：10-4Ω－2*105Ω
方阻：10-4Ω/□－2*105Ω/□
電阻率和電導(dǎo)率范圍由儀器內(nèi)部公式計算得到
9. 顯示范圍：四位半數(shù)字顯示讀數(shù)。
10. 測試端：4 端屏蔽（包括 2 個檢測端和 2 個驅(qū)動端）和外屏蔽地端。
11. 3檔分選功能：不合格，合格
12. 環(huán)境：
1) 儲存：溫度 0℃～ 50℃ 濕度 <80% RH
2) 工作：溫度0℃～ 40℃ 濕度<80% RH
13. 電源：AC輸入電壓： 198～ 242V（220± 10 ％）頻率：50/60Hz，功率：30VA
保險絲：0.5A 慢熔
14. 重量：約 4.8kg （帶包裝重量）。凈重：約3.8kg
15. 隨機附件：使用說明書、測試報告、質(zhì)保證書、保修卡、裝箱單、儀器、電源
線 、保險絲、 USB通訊線 RS232通訊線、四端測試線、測試探頭(含探針)
（任選一種）
測試探頭：按需選擇探針材料和探針間距,詳情見探頭探針選型表測試架：
按需選擇不同的測試架
