1. 光柵安裝方式
光柵熱膨脹系數(shù)獲得PTB認證,裝配時,一端固定,另一端可隨溫度變化自由伸縮。
2. 光氣動平衡技術(shù)
*的氣動平衡技術(shù),采用柔性懸掛系統(tǒng),加上獲得的阻尼平衡機構(gòu),改善了機器的動態(tài)特性,并加強了Z軸的安全保障。
3. 整體燕尾型導(dǎo)軌
一體式燕尾形導(dǎo)軌,提高了整機的運行精度。
4. 活動橋式結(jié)構(gòu)
*的活動橋式結(jié)構(gòu),提供了更開敞的測量空間。
5. 高精密氣浮系統(tǒng)
各軸采用預(yù)載荷空氣軸承,消除摩擦力和運行磨損對機器造成的影響,并對現(xiàn)場灰塵不敏感。
6. 標準工藝流程
厚重穩(wěn)固的整體花崗石工作臺減少了振動帶來的影響,臺面平面度符合DIN876標準。
7. 驅(qū)動電機遠程放置
電機遠程放置減少了移動質(zhì)量,提高了速度,也避免了電機發(fā)熱對機器性能帶來的影響。
8. 高精密三角梁技術(shù)
精密三角梁TM(TRICISIONTM)式橫梁設(shè)計,降低了重心,同時比等寬度軸承跨距的其他形式橫梁的重量輕。