用來(lái)研磨藍(lán)寶石基板、SiC基板和陶瓷等硬脆性材料之超精密平面磨床
具有以往所沒(méi)有的優(yōu)異機(jī)械剛性
具有高剛性，可抑制加工中的負(fù)面因子，同時(shí)兼具高效率和低損壞姓
具有高剛性，可擴(kuò)增工作臺(tái)的直徑，亦可用於6吋晶圓的批量加工
透過(guò)非接觸式的厚度檢測(cè)來(lái)測(cè)量加工品輪廓，亦能以高可靠度支援批量加工
以獨(dú)創(chuàng)砂輪進(jìn)行無(wú)打磨加工，維持穩(wěn)定的品質(zhì)，並降低停機(jī)時(shí)間
拋光用貼付板的自動(dòng)搬送系統(tǒng)
加工程式能以配方管理執(zhí)行簡(jiǎn)單操作
