平臺規(guī)格(長×寬)mm | 平臺精度等級 | ||
1級 | 2級 | 3級 | |
平面度公差(um) | |||
1000×1500 | 24 | 48 | 120 |
1000×2000 | 26 | 52 | 130 |
1500×2000 | 28 | 56 | 140 |
1500×2500 | 32 | 64 | 152 |
1500×3000 | 32 | 70 | 174 |
2000×3000 | 32 | 74 | 184 |
2000×4000 | 32 | 88 | 219 |
2500×3000 | 32 | 79 | 186 |
2000×4500 | 32 | 79 | 237 |
2000×5000 | 32 | 79 | 255 |
2000×6000 | 32 | 79 | 292 |
3000×6000 | 32 | 79 | 308 |
3000×8000 | | | 382 |