特點(diǎn)
•Z軸裝有數(shù)顯弧形標(biāo)尺,可以提供更大的測(cè)量范圍和更高的分辨率,從而不必再依靠測(cè)量倍率。
•可以應(yīng)用數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)(個(gè)人計(jì)算機(jī)和Formpak-1000軟件)。
*連接PC后, Formpak-1000輪廓分析程序可提供多種測(cè)量和分析方式。連接XY繪圖儀后,可在輸出前通過(guò)顯示裝置檢測(cè)輪廓曲線。
技術(shù)參數(shù)
X1軸
測(cè)量范圍: 50mm (CV-1000)或100mm(CV-2000)
分辨率: 0.2µm
檢測(cè)方法:反射型線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度: 0.2, 1mm/s和手動(dòng)
測(cè)量速度: 0.2, 0.5mm/s
移動(dòng)方向:向后
直線度: 3.5µm/50mm (CV-1000),
3.5µm/100mm (CV-2000)
*當(dāng)X軸在水平方向上
指示精度:±(3.5+2L/100)µm
* L為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度(mm)
傾斜范圍:±45°(CV-2000)
Z2軸(立柱,僅用于CV-2000)
立柱類型:電動(dòng)(S4型)和手動(dòng)(M4型)
垂直行程: 250mm (S4型), 320mm (M4型)
分辨率: 0.2µm (S4型)
檢測(cè)方法: ABSOLUTE線性編碼器(S4型)
驅(qū)動(dòng)速度: 0 - 5mm/s和手動(dòng)
Z1軸(檢測(cè)器)
測(cè)量范圍: 25mm (CV-1000)或40mm (CV-2000)
分辨率: 0.4µm (CV-1000)或0.5µm (CV-2000)
檢測(cè)方法:弧形編碼器
指示精度: ±(3.5+I4HI/25)µm
(20°C時(shí)) *H為水平位置上的測(cè)量高度(mm)
測(cè)針上/下運(yùn)作:弧形運(yùn)動(dòng)
測(cè)針?lè)较?向下
測(cè)力: 10 - 30mN
跟蹤角度:向上:77°、向下:87°
(根據(jù)表面粗糙度,
使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測(cè)針)
測(cè)針針尖半徑: 25µm、硬質(zhì)合金針尖
基座尺寸(W x H): 750 x 600mm (CV-2000)
基座材料:花崗巖(CV-2000)
重量: 5kg (CV-1000N2),
115.8kg (CV-2000M4),
124kg (CV-2000S4)
電源: 100 - 240VAC±10%, 50/60Hz
能耗: 150W (主機(jī))
型號(hào) | CV-1000N2 | CV-2000M4 | CV-2000S4 |
貨號(hào)(mm) | 218-611* | 218-631* | 525-724-1* |
貨號(hào)(inch) | 218-621* | 218-641* | 525-724-2* |
X1軸測(cè)量范圍 | 50mm | 100mm | 100mm |
Z1軸測(cè)量范圍 | 25mm | 40mm | 40mm |
Z2軸垂直行程 | — | 250mm | 320mm |
*為區(qū)分交流電源電壓,在貨號(hào)后加上以下后綴(如:218-611A):A適于UL/CSA,D適于CEE,E適于BS,F適于SAA,DC適于中國(guó)、K適于EK,無(wú)后綴適于JIS/100V |