特點(diǎn)
超小型的尺寸,可實(shí)現(xiàn)機(jī)械的小型化
外徑5mm×全長17mm,超小型的精密定位傳感器。
用于半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置XY軸滑臺(tái)的平衡定位等有限空間的內(nèi)”精密定位”、”原點(diǎn)定位”。
1微米的復(fù)重精度,300萬次的耐久性!!
采用(無需放大器)的”精密機(jī)械式”,無外部環(huán)境、自發(fā)熱而導(dǎo)致的溫度漂移,可穩(wěn)定輸出高精度的位置信號。
雖然是小型機(jī)械式,卻具有300萬次的機(jī)械和電氣耐久性。