產(chǎn)品簡介
機(jī)床適用于同軸非球面和螺旋表面車削加工，慢刀伺服（旋轉(zhuǎn)式）進(jìn)行自由曲面加工，柵式飛刀技術(shù)進(jìn)行自由曲面、線性衍射面以及光學(xué)棱形結(jié)構(gòu)加工，配備有優(yōu)化空氣隔震系統(tǒng)。
性能特點
1、適用于同軸非球面和螺旋表面車削加工，慢刀伺服（旋轉(zhuǎn)式）進(jìn)行自由曲面加工，柵式飛刀技術(shù)進(jìn)行自由曲面、線性衍射面以及光學(xué)棱形結(jié)構(gòu)加工；
2、耐撞擊多孔石墨涂層空氣主軸 - 全轉(zhuǎn)速范圍內(nèi)主軸跳動小于 12.5納米，C軸反饋分辨率為 0.01弧秒；
3、業(yè)界的8.4皮米光柵尺反饋分辨率；
4、標(biāo)準(zhǔn)加徑650mm，可定制更大加徑；
5、Delta Tau 控制軟件 - 程序預(yù)讀能力40,000句；
6、通過網(wǎng)絡(luò)可進(jìn)行實時設(shè)備監(jiān)控以及遠(yuǎn)程操作控制；
7、NanoSMART™ - 業(yè)界觸摸屏操作界面，應(yīng)用了大量新功能，其中包括能運行文件大小高達(dá)5GB的程序；
8、可選配件：旋轉(zhuǎn)工作臺B軸，主軸內(nèi)置任意定位控制C軸，微磨削以及微銑磨附件，快刀伺服系統(tǒng)，光學(xué)對刀儀，噴霧式冷卻系統(tǒng)，真空卡盤，微調(diào)式刀座，NanoCAM 2D非球面光學(xué)元件編程軟件，機(jī)床在線測量和誤差補償系統(tǒng)（WECS），以及溫控系統(tǒng)。
技術(shù)參數(shù)
主機(jī) | 描述 |
系統(tǒng)配置 | 超精密3,4 或5 軸CNC 機(jī)床，用于同軸非球面和螺旋表面車削加工，慢刀伺服(旋轉(zhuǎn)式)進(jìn)行自由曲面加工，柵式飛刀技術(shù)進(jìn)行自由曲面、線性衍射面以及光學(xué)棱形結(jié)構(gòu)的加工 |
加工范圍 | 直徑650mm x 長300mm（可定制更大的加徑） |
床身結(jié)構(gòu) | 整體式復(fù)合聚合物花崗巖，內(nèi)置冷卻槽，具有的熱穩(wěn)定性 |
隔震裝置 | 優(yōu)化空氣隔震系統(tǒng)。可選配自動調(diào)平阻尼式空氣隔震系統(tǒng) |
計算機(jī)配置 | Intel i5 2.4 GHz 處理器，64 位Windows 7 專業(yè)版，16G 內(nèi)存，10/100/1000 以太網(wǎng)接口，CD-RW / DVD 光驅(qū)以及500GB 硬盤，22”多點觸摸屏，USB 接口 |
控制系統(tǒng) | Delta Tau 系統(tǒng)，嵌入式1GHz， 64 位運動控制器， Nanotech 新觸控操作界面，基于Windows 7 環(huán)境 |
編程分辨率 | 線性分辨率0.01 nm / 角度分辨率0.0000001° |
性能展示（使用激光干涉儀或者白光干涉儀測量同一個元件) | 材料 – 高純度鋁合金 （所有精度的測量同一個元件的同一表面） 面型精度(P-V): ≤ 0.1μm / 75mm 口徑,，250mm 曲率半徑凸球面. 表面粗糙度(Ra): ≤ 3.0 nm(測試元件在X-Z 和Y-Z 面車削) |
主軸 | 標(biāo)準(zhǔn)指標(biāo) |
類型 | 耐撞擊多孔石墨涂層空氣軸承 |
主軸恒溫冷卻 | 通過閉環(huán)控制冷水機(jī)，提供溫度控制循環(huán)冷卻水，透過環(huán)繞在空氣軸承主軸的馬達(dá)和軸頸管道進(jìn)行冷卻，以達(dá)到維持主軸和刀具中心熱穩(wěn)定的重復(fù)性。冷水機(jī)帶有控制精度為±0.5°F 的內(nèi)置PID 控制器。 |
安裝 | 嵌入式安裝于Y 軸托架，以增強外圈剛性并降低熱增長。主軸軸心安裝于絕熱外殼內(nèi)以增強熱穩(wěn)定性 |
轉(zhuǎn)速范圍 | 50 至10,000 rpm（雙向） |
加徑 | 650mm |
承載能力（徑向） | 85 Kg @ 7bar (185 lbs @ 100psi.) / 102 Kg @ 10bar (225 lbs @ 145psi.) @ 鼻端 |
承載能力（軸向） | 180 Kg @ 7bar (397 lbs @ 100psi.) @ 鼻端 |
徑向剛性（鼻端） | 130 N/um @ 7bar (743,000 lbs/in @ 100psi) |
軸向剛性 | 438 N/um @ 7bar (2,500,000 lbs/in @ 100psi) |
驅(qū)動系統(tǒng) | 無刷直流電機(jī) |
運動精度 | 軸向: ≤ 12.5 nm 徑向: ≤ 12.5 nm |
線性軸 | X | Z | Y（垂直）-- 選配 |
類型 | 全約束式油靜壓，閉式導(dǎo)軌 | 全約束式油靜壓，閉式導(dǎo)軌 | 全約束式油靜壓，閉式導(dǎo)軌，并配置空氣軸承適應(yīng)控制器，用于平衡重力和不同的負(fù)載 |
行程 | 350mm | 300mm | 150mm |
驅(qū)動系統(tǒng) | 無刷直流直線電機(jī) | 無刷直流直線電機(jī) | 無刷直流直線電機(jī) |
反饋類型 | 激光全息線性光柵尺 | 激光全息線性光柵尺 | 激光全息線性光柵尺 |
反饋分辨率 | 0.008 nm | 0.008 nm | 0.008 nm |
進(jìn)給速度 () | 2000mm/min | 2000mm/min | 2000mm/min |
直線度 | 全行程0.3μm | 全行程0.3μm | 全行程0.5μm （ 中心100mm 0.3μm） |
靜壓油裝置 | 緊湊，低流量，低壓力系統(tǒng)，配備封閉式循環(huán)伺服控制以及使氣泵脈動最小化的壓力積蓄裝置 | ||
選配旋轉(zhuǎn)軸 | B | C（主軸選配） |
類型 | 油靜承 | 空氣軸承溝槽補償(液體冷卻) |
行程 | 360° (雙向) | 360° (雙向) |
驅(qū)動系統(tǒng) | 無刷直流電機(jī) | 無刷直流電機(jī) |
軸向剛性 | 875 N/μm | 詳見上述主軸指標(biāo) |
徑向剛性 (鼻端) | 260 N/μm | 詳見上述主軸指標(biāo) |
定位精度 | ± 1.0 弧秒（經(jīng)補償） | ± 1.0 弧秒（經(jīng)補償） |
反饋分辨率 | 0.005 弧秒 | 0.01 弧秒 |
速度 (定位模式) | 50 rpm | 3,000 rpm |
運動精度 | 軸向: ≤ 0.1μm 徑向: ≤ 0.1μm | 軸向: ≤ 12.5nm 徑向: ≤ 12.5nm |
應(yīng)用要求 | Air 空氣 | Electrical 電子 | Floor Space 底面空間 |
為優(yōu)化車削結(jié)果，熱穩(wěn)定性應(yīng)被控制在±0.5°C (±1.0°F)以內(nèi) | 7 to 10 bar (100 – 145 psi) 280 liters/min (10 scfm) 過濾10 μm 以上微粒 干燥至 10°C 壓力露點 | 208 - 480 VAC; 50 / 60hz; 3 Phase (11kVA) | 1.8m 寬 x 1.8m 長 x 2m 高 重量約3,180 Kg(包括機(jī)床外殼和電柜，但不包括控制臺等外圍設(shè)備) |
Warranty 保修 | 所有部件保修期為一年 |
