主動(dòng)式氣動(dòng)懸掛系統(tǒng)MAPS系列
MAPS可以消除無(wú)源系統(tǒng)無(wú)法消除的頻帶寬度的振動(dòng)。
單元式主動(dòng)隔振器
業(yè)務(wù)領(lǐng)域
對(duì)于半導(dǎo)體
特征：
盡管MAPS具有緊湊的尺寸，但它可以隔離六個(gè)自由度的振動(dòng)
Meiritz提供的MAPS系列的每個(gè)單元都有兩個(gè)氣壓執(zhí)行器：一個(gè)用于垂直，另一個(gè)用于水平。
使用MAPS，您可以體驗(yàn)出色的隔振，抑制振動(dòng)和精確定位的性能。
MAPS可以消除無(wú)源系統(tǒng)無(wú)法消除的頻帶寬度的振動(dòng)。
由于固有頻率引起的諧振經(jīng)常會(huì)在無(wú)源隔離系統(tǒng)中引起麻煩。共振使振動(dòng)的幅度增加三倍或更多。但是可以通過(guò)使用MAPS消除共振。在此頻率范圍內(nèi)可以獲得出色的隔離性能。例如，與大多數(shù)無(wú)源隔離系統(tǒng)相比，可以將典型無(wú)源隔離系統(tǒng)諧振附近的2Hz振動(dòng)消除到小于1 / 30-1 / 100。
可以通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)類(lèi)型的MAPS將10噸或以上的設(shè)備與振動(dòng)隔離開(kāi)
最近的精密機(jī)器顯示出由于功能實(shí)現(xiàn)而變得更大的趨勢(shì)。有些設(shè)備的總重量已經(jīng)超過(guò)10噸。由于裝置的擴(kuò)大，難以保持裝置的結(jié)構(gòu)固有頻率高。這是為什么需要在低頻下具有優(yōu)異性能的主動(dòng)隔振系統(tǒng)的原因之一。
即使攜帶可以在舞臺(tái)上工作的設(shè)備，也可以保持穩(wěn)定。
例如，如果某個(gè)設(shè)備具有通過(guò)XY位移臺(tái)進(jìn)行的某些移動(dòng)，則該設(shè)備會(huì)以較大的幅度擺動(dòng)，并且
在無(wú)源隔離系統(tǒng)（如空氣固定架或橡膠固定架）上的振動(dòng)會(huì)增大。可以在主動(dòng)隔振
器上減小擺幅，因?yàn)樗艿椒答伩刂疲员３治恢梅€(wěn)定。并且，如果可以將臺(tái)架的運(yùn)動(dòng)預(yù)先輸出為電信號(hào)，則可以得到幾乎不擺動(dòng)的環(huán)境，因?yàn)榭梢詫?duì)MAPS進(jìn)行前饋控制，使得擺動(dòng)可以變得最小。
MAPS在精確定位和精確水平方面非常出色。
當(dāng)設(shè)備的尺寸變大時(shí)，傾斜也會(huì)引起麻煩。由于其笨重，它在傾斜時(shí)會(huì)傾斜和下垂，并且精度會(huì)受到顯著影響。MAPS使傾角變小，并且可以保持精度處于良好狀態(tài)。例如，MAPS使晶圓或LCD面板的順利交付成為可能。
所有類(lèi)型的MAPS都易于安裝。
我們聽(tīng)取客戶(hù)的要求，并把所有必要的功能擠在MAPS系列中。安裝MAPS只需很小的空間，并且您可以得到不受振動(dòng)影響的環(huán)境。由于MAPS系列的控制系統(tǒng)非常穩(wěn)定，因此我們不僅可以作為工廠的設(shè)備，而且可以作為待售產(chǎn)品的附件來(lái)自信地處理MAPS系列。
MAPS是組成精密設(shè)備的重要部分之一。
似乎有很多客戶(hù)僅從焦慮到振動(dòng)都使用隔振裝置。當(dāng)當(dāng)今進(jìn)行高精度，高性能和大型化時(shí)，必須具有不受振動(dòng)影響的環(huán)境，才能顯示出規(guī)格表中所述器件的全部性能。隔振裝置是構(gòu)成精密機(jī)械系統(tǒng)而不是輔助裝置的部件之一。
開(kāi)始開(kāi)發(fā)時(shí)與我們聯(lián)系。
MAPS系列具有隔振，定位和校平所需的所有功能。而且不需要很大的安裝空間。即使在完成設(shè)備開(kāi)發(fā)之后，
MAPS仍可以組裝到設(shè)備中。但是，在這種情況下，經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)各種限制。從隔振性能和成本角度來(lái)看，這都不是一個(gè)好方法。當(dāng)開(kāi)始開(kāi)發(fā)新設(shè)備時(shí)，我們想聽(tīng)聽(tīng)您對(duì)設(shè)備的想法，并希望就MAPS的安裝空間，隔振性能和定位精度進(jìn)行必要的安排。通過(guò)采用我們建議的這種方式，可以將您的振動(dòng)環(huán)境吸引到理想狀態(tài)。
仕様
- 主な仕様
| 項(xiàng)目／形式 | MAPS-008 | MAPS-016 | MAPS-033 | MAPS-065 | MAPS-130 | MAPS-240 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 搭載可能質(zhì)量[kgf] (4ユニット使用時(shí)) | 400～800 | 800～1600 | 1600 ～3300 | 3300 ～6500 | 6500 ～13000 | 13000 ～24000 | |
| 機(jī)體寸法 W×D×H[mm] | 235×235×130 | 296×296×140 | 350×350×150 | 450×450×190 | 600×480×190 | 710×600×190 | |
| トッププレート／ベースプレート 取付穴數(shù)量 － 穴徑C[mm] | 4－Φ10 | 4－Φ10 | 4－Φ14 | 4－Φ16 | 6－Φ16 | 6－Φ16 | |
| トッププレート／ ベースプレート 取付穴ピッチ | A1[mm] | 218 | 276 | 320 | 420 | - | - |
| A2[mm] | - | - | - | - | 100 | 250 | |
| A3[mm] | - | - | - | - | 460 | 420 | |
| A4[mm] | - | - | - | - | 25 | 20 | |
| B[mm] | 218 | 276 | 320 | 420 | 430 | 230 | |
| １ユニットあたりの 機(jī)體質(zhì)量 [kg] | 13 | 42 | 63 | 110 | 180 | 230 | |
| 供給空気圧 [MPa] | 0.6～0.8(クリーンエアー) | ||||||
| 定常空気消費(fèi)量 [|/min] | 45～65 | 120～170 | |||||
| 空気消費(fèi)量 [|/min] | 120 | 300 | |||||
| 電源電圧［V] | 100～240 (AC単相,50/60 Hz) | ||||||
| 消費(fèi)電力 [VA] | 180 | ||||||
| 周?chē)鞙囟?[゜c] | 0～40 | ||||||
| 周?chē)鞚穸?[%RH] | 35～85 (結(jié)露しないこと） | ||||||
| ばね上構(gòu)造體固有振動(dòng)數(shù) [Hz] | 200以上(推奨値) | ||||||
| 除振?制振方式 | 空気圧制御による振動(dòng)制御 | ||||||
| レベル維持方式 | 空気圧制御による位置制御 | ||||||
| 除振性能 | 振動(dòng)伝達(dá)率參照 | ||||||
| 制御軸數(shù) | ≦6 | ||||||
