工作站式主動隔振系統(tǒng)ME40-D系列

緊湊的機身具有六個自由度的主動隔離機構(gòu)

近年來，納米技術(shù)領(lǐng)域取得了長足的進(jìn)步，因此，客戶的需求也在不斷發(fā)展。ME40系列在這個不斷變化的領(lǐng)域中是可靠的合作伙伴，能夠通過限度地提高高精度和高分辨率精密儀器的性能來滿足您的納米技術(shù)需求。緊湊的機身具有六個自由度的主動隔離機構(gòu)，可產(chǎn)生超越傳統(tǒng)被動隔振系統(tǒng)功能的理想振動環(huán)境。

業(yè)務(wù)領(lǐng)域

用于顯微鏡

用于測量

用于表面分析

特征

六個自由度的主動隔振

該系統(tǒng)可以在三個維度（六個自由度）上控制振動，同時連續(xù)監(jiān)控裝載臺的振動。這是通過使用集成的執(zhí)行器為測量的振動提供相反的相位信號來完成的。

多種尺寸選擇

我們提供四種尺寸-兩種臺式機和兩種工作站。對于臺式機類型，將阻尼鋁板用作裝載臺，而將鋼蜂窩光學(xué)臺面用于工作站類型。

自動主動控制和水平調(diào)節(jié)

我們最初開發(fā)的控制系統(tǒng)優(yōu)化了增益控制，這是主動隔振的重要組成部分。

（請注意，在某些情況下，取決于安裝環(huán)境或ME40系列是否與可移動儀器（如高精度工作臺）一起使用，自動控制可能不起作用。）

僅需單個電源即可運行

運行ME40系列需要的就是電源。不需要來自壓縮機或其他裝置的空氣供應(yīng)，使您可以在任何地方使用ME40系列。

應(yīng)用領(lǐng)域

精密測量和處理儀器，例如掃描探針顯微鏡（SPM），共聚焦激光顯微鏡，干涉儀系統(tǒng)，3D配置測量設(shè)備和位移計系統(tǒng)