氣動隔振系統(tǒng)AP系列

您可以低成本地組成適合您的精密機器的最合適的隔振系統(tǒng)。

隔振系統(tǒng)必須具有靈活性和出色的性能，這一點很重要。因為這是安裝在這些精密機器上調試過的隔振系統(tǒng)的方法。即“ AP系列”隔振系統(tǒng)，可以立即適應您的需求。除了具有隔振功能外，“ AP系列”還具有系統(tǒng)可擴展性。該隔振系統(tǒng)“ AP系列”為理想的隔振環(huán)境提供了條件。

業(yè)務領域：

用于測量

對于半導體

特征

Meiritsu的氣動隔振系統(tǒng)在該技術的實際成果中具有攪拌性能。

我們采用了在從顯微鏡或激光應用技術到半導體制造/檢查設備的各種領域中取得了許多實際成就的氣動系統(tǒng)。

我們向您保證，您將在從3 Hz到數(shù)百Hz的寬頻帶中獲得出色的隔振性能。

而且，在空氣供應停止的情況下，安裝在空氣彈簧下部的橡膠保護了所安裝機器的精確機構。

“ AP系列”是通用系統(tǒng)的單元類型。

當在機器中安裝振動隔離系統(tǒng)時，需要占用機器的較小空間。

“ AP系列”是一種緊湊型的隔離系統(tǒng)，由空氣彈簧和機械調平閥組成。

您可以在設備中安裝“ AP系列”，而無需大規(guī)模修改設備的結構，并且可以獲得良好的隔振性能。

AP系列1

“ AP系列”的所有高度均標準化為185mm。

“ AP系列”的所有高度均標準化為185mm。即使必須增加或減少機器的重量，也可以在不改變機器安裝空間高度的情況下安裝其他類型的“ AP系列”。

“ AP系列”涵蓋了廣泛的負載質量。

需要振動隔離系統(tǒng)的精密機器的種類繁多和用途日益多樣化。為了滿足要求，我們提供了11種類型的“ AP系列”，從“ AP-80”到“ AP-380”。即使精密機器的重量為數(shù)百公斤或超過10噸，也可以從“ AP系列”中選擇合適的一種。

負載運動的高性能。

在進行工件處理，平板傳送和自動處理/測量機器的平臺移動的情況下，即使由作為彈性體的空氣彈簧支撐，也需要位置重復性。

“ AP系列”具有由Meiritsu開發(fā)的標準的高靈敏水平閥。定位重復性在+/- 200微米以內。

人們通常會說，階段移動得越快，發(fā)生晃動的問題就越多。這些就是我們所說的俯仰，偏航或滾動。

如果選擇可選的兩步式調平閥，則可以縮短收斂時間。

作為被動型隔離系統(tǒng)的極限靈敏度，您可以獲得+/- 100微米以內的定位重復性。

如果您預測會聚時間會導致一些問題，請務必與我們提前聯(lián)系。

您也可以在無塵室中使用“ AP系列”。

在高水平潔凈室中使用“ AP系列”時，您可以為潔凈室選擇調平閥，該閥可以排出空氣并匯入管子中以進行疏散。

請聯(lián)系我們以獲取詳細信息，因為這是一項特殊訂單。請注意，兩步式調平閥不適用于潔凈室。

選擇“ AP系列”的類型或設計要安裝“ AP系列”的設備時，請注意。

需要空氣彈簧之間更大的跨度。

在淺藍色三角形區(qū)域內（在日本手冊的封底中）調整包括裝紙板在內的裝紙裝置的重心位置。

考慮到工程移動時最單側的負載條件，請選擇“ AP系列”。如果有加載板的晃動或收斂時間有任何問題，請?zhí)崆白稍兾覀儭Ｈ绻o我們提供了諸如運動物體的質量，速度，加速度和行程之類的信息，我們很樂意為您提供建議。

在裝載板的圓周上蓋上蓋子或類似物時，應留出10mm或更大的間隙。

當您移動裝有防振系統(tǒng)的設備時，請確保確認壓緊了載物板和底座/基板。

選擇較高剛度的承重板和基座/基板，以實現(xiàn)充分的隔振性能。

“ AP系列”的標準類型包括四個空氣彈簧。但是，您可以選擇其他類型的“ AP系列”，該類型由六個，八個或更多的空氣彈簧組成。如果您有任何想法，請與我們聯(lián)系