氣動(dòng)隔振系統(tǒng)AP系列
您可以低成本地組成適合您的精密機(jī)器的最合適的隔振系統(tǒng)。
隔振系統(tǒng)必須具有靈活性和出色的性能，這一點(diǎn)很重要。因?yàn)檫@是安裝在這些精密機(jī)器上調(diào)試過的隔振系統(tǒng)的方法。即“ AP系列”隔振系統(tǒng)，可以立即適應(yīng)您的需求。除了具有隔振功能外，“ AP系列”還具有系統(tǒng)可擴(kuò)展性。該隔振系統(tǒng)“ AP系列”為理想的隔振環(huán)境提供了條件。
業(yè)務(wù)領(lǐng)域：
用于測(cè)量
對(duì)于半導(dǎo)體
特征
Meiritsu的氣動(dòng)隔振系統(tǒng)在該技術(shù)的實(shí)際成果中具有攪拌性能。
我們采用了在從顯微鏡或激光應(yīng)用技術(shù)到半導(dǎo)體制造/檢查設(shè)備的各種領(lǐng)域中取得了許多實(shí)際成就的氣動(dòng)系統(tǒng)。
我們向您保證，您將在從3 Hz到數(shù)百Hz的寬頻帶中獲得出色的隔振性能。
而且，在空氣供應(yīng)停止的情況下，安裝在空氣彈簧下部的橡膠保護(hù)了所安裝機(jī)器的精確機(jī)構(gòu)。
“ AP系列”是通用系統(tǒng)的單元類型。
當(dāng)在機(jī)器中安裝振動(dòng)隔離系統(tǒng)時(shí)，需要占用機(jī)器的較小空間。
“ AP系列”是一種緊湊型的隔離系統(tǒng)，由空氣彈簧和機(jī)械調(diào)平閥組成。
您可以在設(shè)備中安裝“ AP系列”，而無需大規(guī)模修改設(shè)備的結(jié)構(gòu)，并且可以獲得良好的隔振性能。
AP系列1
“ AP系列”的所有高度均標(biāo)準(zhǔn)化為185mm。
“ AP系列”的所有高度均標(biāo)準(zhǔn)化為185mm。即使必須增加或減少機(jī)器的重量，也可以在不改變機(jī)器安裝空間高度的情況下安裝其他類型的“ AP系列”。
“ AP系列”涵蓋了廣泛的負(fù)載質(zhì)量。
需要振動(dòng)隔離系統(tǒng)的精密機(jī)器的種類繁多和用途日益多樣化。為了滿足要求，我們提供了11種類型的“ AP系列”，從“ AP-80”到“ AP-380”。即使精密機(jī)器的重量為數(shù)百公斤或超過10噸，也可以從“ AP系列”中選擇合適的一種。
負(fù)載運(yùn)動(dòng)的高性能。
在進(jìn)行工件處理，平板傳送和自動(dòng)處理/測(cè)量機(jī)器的平臺(tái)移動(dòng)的情況下，即使由作為彈性體的空氣彈簧支撐，也需要位置重復(fù)性。
“ AP系列”具有由Meiritsu開發(fā)的標(biāo)準(zhǔn)的高靈敏水平閥。定位重復(fù)性在+/- 200微米以內(nèi)。
人們通常會(huì)說，階段移動(dòng)得越快，發(fā)生晃動(dòng)的問題就越多。這些就是我們所說的俯仰，偏航或滾動(dòng)。
如果選擇可選的兩步式調(diào)平閥，則可以縮短收斂時(shí)間。
作為被動(dòng)型隔離系統(tǒng)的極限靈敏度，您可以獲得+/- 100微米以內(nèi)的定位重復(fù)性。
如果您預(yù)測(cè)會(huì)聚時(shí)間會(huì)導(dǎo)致一些問題，請(qǐng)務(wù)必與我們提前聯(lián)系。
您也可以在無塵室中使用“ AP系列”。
在高水平潔凈室中使用“ AP系列”時(shí)，您可以為潔凈室選擇調(diào)平閥，該閥可以排出空氣并匯入管子中以進(jìn)行疏散。
請(qǐng)聯(lián)系我們以獲取詳細(xì)信息，因?yàn)檫@是一項(xiàng)特殊訂單。請(qǐng)注意，兩步式調(diào)平閥不適用于潔凈室。
選擇“ AP系列”的類型或設(shè)計(jì)要安裝“ AP系列”的設(shè)備時(shí)，請(qǐng)注意。
需要空氣彈簧之間更大的跨度。
在淺藍(lán)色三角形區(qū)域內(nèi)（在日本手冊(cè)的封底中）調(diào)整包括裝紙板在內(nèi)的裝紙裝置的重心位置。
考慮到工程移動(dòng)時(shí)最單側(cè)的負(fù)載條件，請(qǐng)選擇“ AP系列”。如果有加載板的晃動(dòng)或收斂時(shí)間有任何問題，請(qǐng)?zhí)崆白稍兾覀儭Ｈ绻o我們提供了諸如運(yùn)動(dòng)物體的質(zhì)量，速度，加速度和行程之類的信息，我們很樂意為您提供建議。
在裝載板的圓周上蓋上蓋子或類似物時(shí)，應(yīng)留出10mm或更大的間隙。
當(dāng)您移動(dòng)裝有防振系統(tǒng)的設(shè)備時(shí)，請(qǐng)確保確認(rèn)壓緊了載物板和底座/基板。
選擇較高剛度的承重板和基座/基板，以實(shí)現(xiàn)充分的隔振性能。
“ AP系列”的標(biāo)準(zhǔn)類型包括四個(gè)空氣彈簧。但是，您可以選擇其他類型的“ AP系列”，該類型由六個(gè)，八個(gè)或更多的空氣彈簧組成。如果您有任何想法，請(qǐng)與我們聯(lián)系
- 規(guī)格
| 模型 | AP-80 | AP-100 | AP-120 | AP-140 | AP-160 | AP-180 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 自然 頻率 | 2.5-3.0Hz（垂直，水平） | |||||
| 振動(dòng) 隔離 方法 | 空氣懸架 | |||||
| 阻尼 方式 | 孔板傾倒 | |||||
| 調(diào)平 方法 | 機(jī)械氣閥自動(dòng)調(diào)平（定位公差+/- 200微米） | |||||
| 尺寸 （毫米） | 170x170 x185 | 180x180 x185 | 200x200 x185 | 210x210 x185 | 240x240 x185 | 250x250 x185 |
| 質(zhì)量 （kg /單位） | 10.5 | 14 | 15 | 19 | 21歲 | 27.5 |
| 凈荷 （kg / 4units） | 560 | 880 | 1200 | 1700 | 2200 | 2800 |
| 供給 氣壓 （MPa） | 0.40-0.70MPa （氣源：空氣壓縮機(jī)壓縮的空氣，釋放工廠的空氣或液體管道） | |||||
| 模型 | AP-200 | AP-230 | AP-270 | AP-330 | AP-380 |
|---|---|---|---|---|---|
| 自然 頻率 | 2.5-3.0Hz（垂直，水平） | ||||
| 振動(dòng) 隔離 方法 | 空氣懸架 | ||||
| 阻尼 方式 | 孔板傾倒 | ||||
| 調(diào)平 方法 | 機(jī)械氣閥自動(dòng)調(diào)平（定位公差+/- 200微米） | ||||
| 尺寸 （毫米） | 260x260 x185 | 300x300 x185 | 320x320 x185 | 370x370 x185 | 430x430 x185 |
| 質(zhì)量 （kg /單位） | 32 | 43.5 | 52 | 67.5 | 90 |
| 凈荷 （kg / 4units） | 3600 | 4600 | 6400 | 9600 | 13000 |
| 供給 氣壓 （MPa） | 0.40-0.70MPa （氣源：空氣壓縮機(jī)壓縮的空氣，釋放工廠的空氣或液體管道） | ||||
