氣動隔振系統(tǒng)AP-MKH系列
高性能低頻固有頻率單元型隔振器，可用于有運動質(zhì)量的設(shè)備
AP-MKH系列是Meiritz在無源單元型隔振器中的產(chǎn)品，具有改善的隔離性能和各種有用的功能。
業(yè)務(wù)領(lǐng)域
用于測量
對于半導(dǎo)體
規(guī)格
- 主な仕様
| 模型 | AP-230MKH | AP-270MKH | AP-330MKH |
|---|---|---|---|
| 固有頻率 | 垂直：1.5?2.0Hz /水平：0.7?1.0Hz | ||
| 隔振 方法 | 空氣懸架 | ||
| 阻尼方式 | 孔板傾倒 | ||
| 調(diào)平方法 | 自動找平科研空氣閥 （定位公差：±100μm） | ||
| 尺寸 （寬×深×高mm） | 320×320×325 | 320x320x325 | 370×370×325 |
| 質(zhì)量（kg /單位） | 54 | 64 | 81 |
| 有效載荷（kg / 4units） | 6200 | 8600 | 13000 |
| 軸B（mm） | 290x290 | 290x290 | 340x340 |
| ΦC（毫米） | 13 | 13 | 13 |
| 供給氣壓（MPa） | 0.5MPa （氣源：通過空氣壓縮機壓縮的空氣， 釋放工廠的空氣或液氮氣體的管道） | ||
