XENOS可在各類要求高測(cè)量精度的領(lǐng)域使用——從科研機(jī)構(gòu)的測(cè)量實(shí)驗(yàn)室、航空和航天工業(yè)直至光學(xué)工業(yè)。這一測(cè)量機(jī)的測(cè)量精度達(dá)到技術(shù)極限,其測(cè)量范圍近1立方米。創(chuàng)新的驅(qū)動(dòng)技術(shù)和碳化硅陶瓷材料的使用也確保了機(jī)器的動(dòng)態(tài)性能。
創(chuàng)新的機(jī)械設(shè)計(jì)
ZEISS XENOS新型的機(jī)械設(shè)計(jì)基于經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的ZEISS CenterMax,令人印象深刻。與標(biāo)準(zhǔn)橋式測(cè)量機(jī)不同:Y導(dǎo)軌分布 于 側(cè) 壁 頂 部 ,分 離 式 移 動(dòng) 行 程 軸 僅 橫梁于Y軸方向移動(dòng),更小及恒定的移動(dòng)重量——與移動(dòng)式平臺(tái)相比堪稱真正的優(yōu)勢(shì)。更低及恒定的移動(dòng)重量造就了加速及速度的統(tǒng)一。
所有軸均采用線性驅(qū)動(dòng)
XENOS的所有軸均采用線性驅(qū)動(dòng)。其優(yōu) 點(diǎn) :高 速 、加 速 極 快 、定 位 精 度 高 、驅(qū)動(dòng)無(wú)剪切力影響結(jié)合超高分辨率光柵尺技術(shù),XENOS的線性驅(qū)動(dòng)可獲得高度穩(wěn)定性及低于結(jié)合超高分辨率光柵尺技術(shù),XENOS的線性驅(qū)動(dòng)可獲得高度穩(wěn)定性及低于100納米的*定位精度。例如,測(cè)針偏移量越恒定,即可獲得更佳的測(cè)量精度。于測(cè)量曲面時(shí)更顯見(jiàn)另一優(yōu)勢(shì):測(cè)針的移動(dòng)路徑與預(yù)定值越吻合,即可實(shí)現(xiàn)越出色的精確性。