HISOMET系列工具顯微鏡為一專業(yè)X、Y、Z軸座標測量顯微鏡，X、Y工作臺行程由50×50mm到大行程500×500mm，放大倍數由5×至1000×。為求提高工件在Z軸深度/高度測量時的精度，Z軸對焦采用一光學“裂像指示器”，結合精密的Z軸“Cross Roller Bearing”導軌，可測范圍25 mm，精度高達1μm，配合特殊附件，測量分解度更可達0.5μm或0.1μm。
技術規(guī)格：
型 號 | DH II | ||||||
工作臺行程mm | 50×50 | 100×100 | 100×200 | 150×150 | 150×300 | 300×300 | 500×500 |
Z軸測量范圍 | 25mm | 25mm | 25mm | 25mm | 25mm | 25mm | 25mm |
X、Y、Z軸數顯分解度 | 0.001mm | ||||||
Z軸讀數裝置 | 內置數顯表／外置數據處理系統(tǒng) | ||||||
反射照明系統(tǒng) | 內置LED／外置冷光源 | ||||||
標準目鏡 | NWF10X | ||||||
標準物鏡（W.D.12mm） | PLM10X | ||||||
讀數系統(tǒng) | 簡易座標讀數器 | ||||||
多功能數據處理器 | |||||||
測量軟件電腦系統(tǒng) | |||||||
選購物鏡 | PLM3X(W.D.8.5mm), PLM5X(W.D.19mm), | ||||||
應用：
