型號(hào) (XY 工作臺(tái)尺寸) | 505B | 1010B | 2010B | 2017B | 3017B | 4020B | ||
貨號(hào) | MF-A | 176-561* | 176-562* | 176-563* | 176-564* | 176-565* | 176-566* | |
MF-B | 176-581* | 176-582* | 176-583* | 176-584* | 176-585* | 176-586* | ||
XY 工作臺(tái)移動(dòng)范圍 | 50 x 50mm | 100x100mm | 200 x 100mm | 300x170mm | 400x200mm | 220mm | ||
Z 軸移動(dòng)范圍 | 150mm | 150mm | 150mm | 220mm | 220mm | |||
調(diào)焦式 | 手動(dòng)調(diào)焦 (粗調(diào)焦:10mm/rev、微調(diào)焦:0.1mm/rev) | |||||||
測(cè)量法 | 線性編碼器 (2 軸型:X / Y 軸、3 軸型:X / Y / Z 軸) | |||||||
分辨率 (可換) | 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm / .0001" / .00005" / .00001" |