15L晶圓刻蝕機
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- 公司名稱深圳市東信高科自動化設備有限公司
- 品 牌
- 型 號TS-PL15MA
- 所 在 地
- 廠商性質生產廠家
- 更新時間 2021-07-21
- 訪問次數(shù)478
1.真空腔規(guī)格: 材質316不銹鋼 L270mm*W280mm*H200mm
2.電極:平板氣浴電極,材質6061-T6鋁合金
功率電極:1
接地電極:1
3. 電極尺寸:230mm *230mm(可處理產品尺寸,可處理8寸晶圓)
4. 頻率:13.56MHz
5. 功率:0-300W連續(xù)可調,可在設備運行中隨時調整參數(shù)。
6. 氣體控制:MFC質量流量計, 0-500ml 2路氣體
7. 真空度測量儀器: 2色顯示式高精度數(shù)字式壓力開關(SMC)
8. 控制方式:7寸工業(yè)控制觸摸屏,全手動控制和全自動控制兩種控制方式
9. 控制軟件功能:界面顯示實時工作狀態(tài)
10.設備規(guī)格尺寸:長600mm 寬600mm 高700mm
11.電極板配置:配備3個卡槽位(接地電極),極板間距離可調整,可按需求調整極板位置
晶圓刻蝕機標配版:TS-PL15MA
1.真空腔規(guī)格: 材質316不銹鋼 L270mm*W280mm*H200mm
2.電極:平板氣浴電極,材質6061-T6鋁合金
功率電極:1
接地電極:1
3. 電極尺寸:230mm *230mm(可處理產品尺寸,可處理8寸晶圓)
4. 頻率:13.56MHz
5. 功率:0-300W連續(xù)可調,可在設備運行中隨時調整參數(shù)。
6. 氣體控制:精密針閥式浮子流量計, 0-1000ml 2路氣體
7. 真空度測量儀器: 2色顯示式高精度數(shù)字式壓力開關(SMC)
8. 控制方式:4.3寸工業(yè)控制觸摸屏,全手動控制和全自動控制兩種控制方式
9. 控制軟件功能:界面顯示實時工作狀態(tài)
10.設備規(guī)格尺寸:長600mm*寬600mm*高700mm
11.電極板配置:配備3個卡槽位(接地電極),極板間距離可調整,可按需求調整極板位置