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    15L晶圓刻蝕機

    參考價面議
    具體成交價以合同協(xié)議為準
    • 公司名稱深圳市東信高科自動化設備有限公司
    • 品       牌
    • 型       號TS-PL15MA
    • 所  在  地
    • 廠商性質生產廠家
    • 更新時間 2021-07-21
    • 訪問次數(shù)478
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    深圳市東信高科自動化設備有限公司始創(chuàng)于1998年,是國內早期批從事真空及大氣低溫等離子體(電漿) 技術、射頻及微波等離子體技術研發(fā)、生產銷售于一體的國家,隸屬于東信高科等離子科技(香港)控股有限公司,總部設于香港。目前公司設立有等離子事業(yè)部,超聲清洗事業(yè)部,自動化設備事業(yè)部,塑膠焊接事業(yè)部。產品涵蓋等離子體表面處理,超聲波清洗、電鍍、制冷等領域。為適應國內外市場對等離子體表面處理工藝的需求,東信高科等離子事業(yè)部聯(lián)合德國等離子體研究等離子研究所,德國Diener公司實驗室等國內外科研機構,投入大量資金,先后研發(fā)出了等離子清洗機、等離子刻蝕機、等離子去膠機、等離子表面處理設備、電漿清洗機及常壓等離子打磨、拋光系統(tǒng)等自動化設備。產品廣泛應用于包裝、塑料制品、通訊、汽車、家電、光電、紡織、半導體及精密制造等行業(yè),在表面涂裝、表面粘接、表面清潔方面尤為突出。經過近二十年的發(fā)展,不斷革新技術與產品,成功的推動了我國低溫等離子技術在等離子體塵埃、晶體、材料合成、微米納米技術、化工、環(huán)保、表面聚合、表面接枝、表面刻蝕、表面催化、金屬滲氮、化學合成和氣、液、固態(tài)物質處理方面的發(fā)展。公司憑借強大的科研實力,已成功申請了多項技術。公司先后與富士康公司、美國AAC集團、愛普生電子、中國兵器集團、中國電子科技集、、東南大學光電實驗室、深圳比亞迪股份有限公司等世界500強公司和研究單位達成戰(zhàn)略合作協(xié)議,成為上述企業(yè)和單位的超聲波、等離子處理設備供貨商。公司秉承誠信、拼搏、創(chuàng)新的精神理念,以人為本、高效服務的經營理念,立足中國,面向,打的等離子表面處理設備供應商和服務商!
    超聲波模具拋光機,超聲波清洗機,水滴角測量儀
    產品簡介: 晶圓刻蝕
    15L晶圓刻蝕機 產品信息
    晶圓刻蝕機高配版:TS-PL15MA/P

    1.真空腔規(guī)格: 材質316不銹鋼 L270mm*W280mm*H200mm
    2.電極:平板氣浴電極,材質6061-T6鋁合金
    功率電極:1
    接地電極:1
    3. 電極尺寸:230mm *230mm(可處理產品尺寸,可處理8寸晶圓)
    4. 頻率:13.56MHz
    5. 功率:0-300W連續(xù)可調,可在設備運行中隨時調整參數(shù)。
    6. 氣體控制:MFC質量流量計, 0-500ml   2路氣體
    7. 真空度測量儀器: 2色顯示式高精度數(shù)字式壓力開關(SMC)
    8. 控制方式:7寸工業(yè)控制觸摸屏,全手動控制和全自動控制兩種控制方式
    9. 控制軟件功能:界面顯示實時工作狀態(tài)
    10.設備規(guī)格尺寸:長600mm 寬600mm 高700mm
    11.電極板配置:配備3個卡槽位(接地電極),極板間距離可調整,可按需求調整極板位置


    晶圓刻蝕機標配版:TS-PL15MA

    1.真空腔規(guī)格: 材質316不銹鋼 L270mm*W280mm*H200mm
    2.電極:平板氣浴電極,材質6061-T6鋁合金
    功率電極:1
    接地電極:1
    3. 電極尺寸:230mm *230mm(可處理產品尺寸,可處理8寸晶圓)
    4. 頻率:13.56MHz
    5. 功率:0-300W連續(xù)可調,可在設備運行中隨時調整參數(shù)。
    6. 氣體控制:精密針閥式浮子流量計, 0-1000ml   2路氣體
    7. 真空度測量儀器: 2色顯示式高精度數(shù)字式壓力開關(SMC)
    8. 控制方式:4.3寸工業(yè)控制觸摸屏,全手動控制和全自動控制兩種控制方式
    9. 控制軟件功能:界面顯示實時工作狀態(tài)
    10.設備規(guī)格尺寸:長600mm*寬600mm*高700mm
    11.電極板配置:配備3個卡槽位(接地電極),極板間距離可調整,可按需求調整極板位置

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