1.真空腔規(guī)格: 材質(zhì)316不銹鋼 L200mm*W270mm*H200mm
2.電極:平板氣浴電極,材質(zhì)6061-T6鋁合金
功率電極:1
接地電極:1
3.電極尺寸:180mm *230mm(可處理產(chǎn)品尺寸規(guī)格)
4.頻率:13.56MHz
5.功率:0-300W連續(xù)可調(diào),精度1W,可在設(shè)備運(yùn)行中隨時(shí)調(diào)整參數(shù)
6.氣體控制:MFC質(zhì)量流量計(jì), 0-500ml 2路氣體
7.真空度測(cè)量?jī)x器: 2色顯示式高精度數(shù)字式壓力開關(guān)(SMC)
8.控制方式:7寸工業(yè)控制觸摸屏,全手動(dòng)控制和全自動(dòng)控制兩種控制方式
9.控制軟件功能:界面顯示實(shí)時(shí)工作狀態(tài)
10.設(shè)備規(guī)格尺寸:長(zhǎng)500mm 寬550mm 高800mm
11.電極板配置:配備3個(gè)卡槽位(接地電極),極板間距離可調(diào)整,可按需求調(diào)整極板位置
10L射頻標(biāo)配版參數(shù):TS-PL10MA
1.真空腔規(guī)格: 材質(zhì)316不銹鋼 L200mm*W270mm*H200mm
2.電極:平板氣浴電極,材質(zhì)6061-T6鋁合金
功率電極:1
接地電極:1
3.電極尺寸:180mm *230mm(可處理產(chǎn)品尺寸規(guī)格)
4.頻率:13.56MHz
5.功率:0-300W連續(xù)可調(diào),精度1W,可在設(shè)備運(yùn)行中隨時(shí)調(diào)整參數(shù)
6.氣體控制:精密針閥式浮子流量計(jì), 0-1000ml 2路氣體
7.真空度測(cè)量?jī)x器: 2色顯示式高精度數(shù)字式壓力開關(guān)(SMC)
8.控制方式:4.3寸工業(yè)控制觸摸屏,全手動(dòng)控制和全自動(dòng)控制兩種控制方式
9.控制軟件功能:界面顯示實(shí)時(shí)工作狀態(tài)
10.設(shè)備規(guī)格尺寸:長(zhǎng)500mm 寬550mm 高800mm
11.電極板配置:配備3個(gè)卡槽位(接地電極),極板間距離可調(diào)整,可按需求調(diào)整極板位置