LMG2A
- 產(chǎn)品描述
產(chǎn)品特征:
行程4m x 4m
以線性滑軌或空氣軸承架構(gòu)之定位平臺良好接地設計防止雜訊干擾,Z向震動可達奈米等級以下速度可達5m/s,標準重現(xiàn)精度1um或以下位置回饋系統(tǒng)解析度可達50nm。
參考價 | 面議 |
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產(chǎn)品特征:
行程4m x 4m
以線性滑軌或空氣軸承架構(gòu)之定位平臺良好接地設計防止雜訊干擾,Z向震動可達奈米等級以下速度可達5m/s,標準重現(xiàn)精度1um或以下位置回饋系統(tǒng)解析度可達50nm。
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