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    6~8英寸標(biāo)準(zhǔn)型等離子刻蝕機(jī)

    參考價(jià)面議
    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
    • 公司名稱深圳市東信高科自動(dòng)化設(shè)備有限公司
    • 品       牌
    • 型       號(hào)TS-VPK
    • 所  在  地
    • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
    • 更新時(shí)間 2021-07-21
    • 訪問(wèn)次數(shù)379
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    深圳市東信高科自動(dòng)化設(shè)備有限公司始創(chuàng)于1998年,是國(guó)內(nèi)早期批從事真空及大氣低溫等離子體(電漿) 技術(shù)、射頻及微波等離子體技術(shù)研發(fā)、生產(chǎn)銷售于一體的國(guó)家,隸屬于東信高科等離子科技(香港)控股有限公司,總部設(shè)于香港。目前公司設(shè)立有等離子事業(yè)部,超聲清洗事業(yè)部,自動(dòng)化設(shè)備事業(yè)部,塑膠焊接事業(yè)部。產(chǎn)品涵蓋等離子體表面處理,超聲波清洗、電鍍、制冷等領(lǐng)域。為適應(yīng)國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)對(duì)等離子體表面處理工藝的需求,東信高科等離子事業(yè)部聯(lián)合德國(guó)等離子體研究等離子研究所,德國(guó)Diener公司實(shí)驗(yàn)室等國(guó)內(nèi)外科研機(jī)構(gòu),投入大量資金,先后研發(fā)出了等離子清洗機(jī)、等離子刻蝕機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子表面處理設(shè)備、電漿清洗機(jī)及常壓等離子打磨、拋光系統(tǒng)等自動(dòng)化設(shè)備。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于包裝、塑料制品、通訊、汽車、家電、光電、紡織、半導(dǎo)體及精密制造等行業(yè),在表面涂裝、表面粘接、表面清潔方面尤為突出。經(jīng)過(guò)近二十年的發(fā)展,不斷革新技術(shù)與產(chǎn)品,成功的推動(dòng)了我國(guó)低溫等離子技術(shù)在等離子體塵埃、晶體、材料合成、微米納米技術(shù)、化工、環(huán)保、表面聚合、表面接枝、表面刻蝕、表面催化、金屬滲氮、化學(xué)合成和氣、液、固態(tài)物質(zhì)處理方面的發(fā)展。公司憑借強(qiáng)大的科研實(shí)力,已成功申請(qǐng)了多項(xiàng)技術(shù)。公司先后與富士康公司、美國(guó)AAC集團(tuán)、愛(ài)普生電子、中國(guó)兵器集團(tuán)、中國(guó)電子科技集、、東南大學(xué)光電實(shí)驗(yàn)室、深圳比亞迪股份有限公司等世界500強(qiáng)公司和研究單位達(dá)成戰(zhàn)略合作協(xié)議,成為上述企業(yè)和單位的超聲波、等離子處理設(shè)備供貨商。公司秉承誠(chéng)信、拼搏、創(chuàng)新的精神理念,以人為本、高效服務(wù)的經(jīng)營(yíng)理念,立足中國(guó),面向,打的等離子表面處理設(shè)備供應(yīng)商和服務(wù)商!
    超聲波模具拋光機(jī),超聲波清洗機(jī),水滴角測(cè)量?jī)x
    產(chǎn)品簡(jiǎn)介: 標(biāo)準(zhǔn)6~8英寸晶圓片刻蝕機(jī),用于手機(jī)、半導(dǎo)體電子等多個(gè)行業(yè)
    6~8英寸標(biāo)準(zhǔn)型等離子刻蝕機(jī) 產(chǎn)品信息

    產(chǎn)品特點(diǎn)


    應(yīng)用領(lǐng)域:適用于大學(xué)、研究院所、企業(yè)研發(fā)禮構(gòu)通用的等離子體刻蝕的科研與教學(xué)或者小批量量產(chǎn)。

    等離子刻蝕方式:RIE反應(yīng)離子刻蝕或者ICP模式離子刻蝕(根據(jù)用戶需求定制)

    樣片數(shù)量及尺寸:1片φ6英寸、8英寸

    刻蝕材料:包括并不限于單晶硅、多晶硅、Si02,Si3N4,Ti,W、聚合物等

    刻蝕腔體:高真空系統(tǒng)

    刻蝕不均勻性:±3%-+6%

    刻蝕速率:0.1-4um/min(視具體材料與工藝)

    工作臺(tái):可升降,包含水冷

    電源配置:上電極射頻,下電極偏壓,包含自動(dòng)匹配

    氣路數(shù)量與種類:6路耐氟基腐蝕氣路或用戶選配

    操作模式:PLC+電腦顯示屏,全自動(dòng)+半自動(dòng)控制


    關(guān)鍵詞:工作臺(tái)

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