基本參數(shù)
| 整機(jī)尺寸(W*D*H) | 1700×1300×1800mm |
| 腔體尺寸(W*D*H) | 1025*850*948mm |
| 腔體材料 | 進(jìn)口316不銹鋼 |
| 等離子發(fā)生器 | 10KW 40kHZ Camdel 美國 |
| 抽風(fēng)系統(tǒng) | ≥2立方/分鐘，尾氣處理管道即可 |
| 電極板數(shù)量 | 15層水平分布 |
| 處理層數(shù) | 15層 |
| 單層處理面積 | 1030（W）*750（D）mm （可定制） |
| 單次處理時(shí)間 | 3-30分鐘不等（根據(jù)產(chǎn)品特征，時(shí)間設(shè)定不同） |
| 工作真空度 | 10～60Pa （可根據(jù)要求設(shè)定，可恒定真空度） |
| 泵可抽極限壓力 | ≤1Pa |
| 抽真空時(shí)間 | 90s以內(nèi) |
| 破真空時(shí)間 | ≤15s |
| 工藝氣體 | CF4 ;O2;N2;Ar;H2 |
| 供氣方式 | 高壓瓶裝氣體14MPa，減壓至0.1-0.3MPa |
| 流量計(jì)調(diào)節(jié)范圍 | 0-2000ml/min/全自動(dòng)調(diào)節(jié) |
| 溫度控制調(diào)節(jié)范圍 | 3匹速冷，30-85℃可調(diào) |
| 真空泵系統(tǒng) | 1級(jí)機(jī)械旋片真空泵+2級(jí)羅茨泵 |
| 真空測(cè)定系統(tǒng) | 日本愛發(fā)科皮拉尼高精密電阻式真空計(jì) |
| 真空供氣系統(tǒng) | Ф6全不銹鋼管+不銹鋼鎖套管路 |
| 真空排氣系統(tǒng) | 全不銹鋼管路+波紋管+2級(jí)過濾裝置 |
| 破真空系統(tǒng) | 真空角閥 |
| PLC自動(dòng)控制 | 三菱 |
| 人機(jī)工控系統(tǒng) | MCGS |
| 變頻控制系統(tǒng) | 中國臺(tái)灣臺(tái)達(dá)，PID閉環(huán)控制，真空度可維持 |
| 機(jī)臺(tái)溫控系統(tǒng) | 冰水模溫一體機(jī)，采用內(nèi)部獨(dú)立中通冰水循環(huán)冷卻系統(tǒng) |
| 輸入氣壓監(jiān)測(cè)系統(tǒng) | 2路 日本SMC自動(dòng)報(bào)警氣壓表 |
| 氣體計(jì)量系統(tǒng) | SevenStar MFC氣體質(zhì)量流量計(jì)精確控制流量 |
| 冰水機(jī)（標(biāo)配） | / |
| 真空機(jī)組（標(biāo)配） | 300m3/H |
| 系統(tǒng)重量 | 500KG |
| 電源 | AC380V，50/60Hz，三相五線100A 15KW |
| 壓縮空氣要求 | 0.6～0.8MPa |
| 循環(huán)冷卻水用量 | / |
| 系統(tǒng)環(huán)境溫濕度要求 | 溫度：5℃~+25℃ 相對(duì)濕度：<80%（25℃） |
| 環(huán)境壓力 | 1.013×105pa |
產(chǎn)品特點(diǎn)
處理溫度低。處理溫度控制在50℃以下，低的處理溫度可以確保對(duì)樣品表面不造成熱影響。
處理效果穩(wěn)定。等離子清洗的處理效果非常均勻穩(wěn)定，常規(guī)樣品處理后較長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)保持效果良好。
可以搭配自動(dòng)化流水線，提高生產(chǎn)效率根據(jù)用戶現(xiàn)場(chǎng)需求，配置的流水線生產(chǎn)方案，大大提高生產(chǎn)效率。
處理全程無污染。等離子清洗機(jī)本身是很環(huán)保的設(shè)備，不產(chǎn)生任何污染，處理過程也不產(chǎn)生任何污染。可以與原有生產(chǎn)流水線搭配，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)在線生產(chǎn)，節(jié)約人力成本。
應(yīng)用領(lǐng)域
PCB等離子清洗機(jī)設(shè)備是專門為印刷電路板（PCB）行業(yè)研發(fā)的設(shè)備，以滿足高到低的PCB制造生產(chǎn)需求。
目前廣泛應(yīng)用于：FPC/PCB孔壁凹蝕/去除孔壁樹脂鉆污
PTFE&聚四氯乙烯材料的活化處理
碳化物去除
PCB板內(nèi)層預(yù)處理
化學(xué)沉金/電鍍前手指、焊盤表面清潔
SMT前焊盤表面清潔（cleaning）
PCB板BGA封裝前表面清洗
去除電鍍夾膜
