產(chǎn)品特點(diǎn)
產(chǎn)品主要適用于小規(guī)模生產(chǎn)/科學(xué)實(shí)驗(yàn)
設(shè)備開外小巧,結(jié)構(gòu)緊湊,操作簡單容易維護(hù)
引進(jìn)德國核心等離子技術(shù)
進(jìn)口316不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕
進(jìn)口針閥精密流量控制計(jì)
兩路工藝反應(yīng)氣體通道
可以根據(jù)客戶需求定制
行業(yè)應(yīng)用
基本參數(shù)
腔體材質(zhì) | 316不銹鋼 |
電源頻率 | 40khz/13.56mhz |
容量(L) | 5L |
功率(W) | 500 |
腔體尺寸(L*W*H)mm | 直徑150*280 |
外形尺寸(L*W*H)mm | 660*700*600 |
真空度 | 30pa-100pa |
氣體流量 | 0-100ml/s |
清洗時(shí)間 | 1-100分鐘可調(diào) |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 |
氣體通道 | 兩路工作氣體,O2 , Ar等 |
控制方式 | 人機(jī)界面 |
真空腔體溫度 | <50℃ |
真空泵 | 油泵/干泵(可選) |