在線式等離子清洗機產品介紹：
目前, 等離子清洗設備主要有批量式及在線式兩種。在線式等離子清洗機采用自動的清洗方式, 適用于大規(guī)模的生產線, 節(jié)省人工, 降低勞動力成本, 大大縮短了整個工藝流程的時間, 使清洗效率獲得極大的提高, 優(yōu)勢明顯。
這些優(yōu)點主要與在線式等離子清洗機的工藝及設備腔體結構有關, 高自動化的在線式等離子清洗屬于非遮擋式清洗, 無人為的二次污染及靜電損傷, 被清洗工件自動放置在腔底的陶瓷懸浮極上, 各個位置等離子體條件均勻一致, 短短的時間內就能夠達到要求的清洗效果。由于清洗時間短, 腔體內部溫升小, 所以無濺射及過熱損傷,。
在線式等離子清洗機清洗原理：
等離子清洗分為化學清洗、物理清洗及物理化學清洗。針對不同的清洗對象可選擇O2、H2和Ar等工藝氣體進行短暫的表面處理。
1.1 化學反應為主的清洗
利用等離子體里的高活性自由基與材料表面的有機物等做化學反應, 又稱PE。采用氧氣進行清洗, 使非揮發(fā)性的有機物變成易揮發(fā)的形態(tài), 產生二氧化碳、一氧化碳和水。化學清洗的優(yōu)點是清潔速度高、選擇性好和對清洗有機污染物比較有效, 主要缺點是生成的氧化物可能在材料表面再次形成。在引線鍵合工藝中, 氧化物是最不希望有的, 這些缺點可以通過適當選擇工藝參數進行避免。
1.2 物理反應為主的清洗
利用等離子體里的離子做純物理的撞擊, 把材料表面附著的原子打掉, 也稱為濺射腐蝕 (SPE) 。采用氬氣進行清洗, 氬離子以足夠的能量轟擊器件表面, 撞擊力足以去除任何污垢。聚合物中的大分子化學鍵分離成小分子而汽化, 通過真空泵排出。同時經過氬等離子清洗后, 能夠改變材料表面的微觀形態(tài), 使材料在分子級范圍內變得更加“粗糙”, 可大幅改善表面活性, 提高表面的粘結性能。氬等離子的優(yōu)點是清理材料表面不會留下任何氧化物。缺點是可能發(fā)生過量腐蝕或污染物顆粒重新積聚在其他不希望的區(qū)域, 但是這些缺點可通過細調工藝參數得到控制。
1.3 物理化學反應同時存在的清洗
反應中物理反應與化學反應均起重要作用的清洗。
如采用Ar和O2的混合氣體進行在線式等離子清洗過程時, 反應速率比單獨使用Ar或O2都要快。氬離子被加速后, 產生的動能又能提高氧離子的反應能力, 因此用物理化學方法可清除污染較為嚴重的材料表面。
隨著微電子封裝向小型化方向發(fā)展, 表面清洗的要求越來越高, 在線式等離子清洗的諸多優(yōu)點, 將使它成為表面清洗工藝選擇方案之一, 作為發(fā)展?jié)摿Φ那逑捶绞? 將被應用于越來越多的領域。同時, 在線式等離子清洗機非常有利于環(huán)境保護, 清洗后不會產生有害污染物, 這在高度關注環(huán)保意識的情況下越發(fā)顯示出它的重要性。
