真空等離子清洗機產(chǎn)品參數(shù)表：
| 型號 | 真空等離子清洗機TS-PL180L |
| 外形尺寸 | W1200mm×D1200mm×H1730mm |
| 真空腔尺寸 | W500mm×D600mm×H600mm |
| 腔體材質(zhì) | 316不銹鋼 |
| 極板數(shù)量 | 9 |
| 等離子體發(fā)生器 | RF 13.56Mhz /40Khz |
| 功率 | 0~1000W可調(diào) |
| 控制方式 | PLC+觸摸屏 |
| 真空泵 | 干泵/油泵可選 |
| 電源 | AC 380V |
真空等離子清洗機產(chǎn)品特點：
進口不銹鋼316材質(zhì)真空腔體：級別密封，避免氣體泄露，又實現(xiàn)高效的真空度，為等離子體創(chuàng)造的反應(yīng)條件。
自主研發(fā)等離子體控制系統(tǒng): 可根據(jù)腔體環(huán)境精準控制等離子體發(fā)生時間和反應(yīng)強度，可進行多步工藝流程處理，采用歐姆龍、施耐德等進口品牌電器元件, 有手動、自動兩種控制模式，10.7”真彩觸摸屏，可編程控制器，可在線設(shè)定、修改、監(jiān)控真空壓力、處理時間、氣體流量、等離子功率等工藝參數(shù)，并具有故障報警、工藝存儲、密碼鎖定、系統(tǒng)維護等多種功能。
高精度氣體流量監(jiān)測系統(tǒng)，兩路工藝氣體配置(氬氣、氧氣），雙路氣流控制，比例可調(diào)，采用高精度電子質(zhì)量流量計及閥件。
強大的全面安全防護系統(tǒng)：溫度安全防護功能，過載防護功能，短路斷路報警防護功能，非法操作提示、清潔結(jié)束提示，各種誤操作保護功能等。
處理全程無污染 ，等離子清洗機本身是很環(huán)保的設(shè)備，無產(chǎn)生任何污染，處理過程也無產(chǎn)生任何污染。可以與原有生產(chǎn)流水線搭配，實現(xiàn)全自動在線生產(chǎn)，節(jié)約人力成本。
真空等離子清洗機工作原理：
真空等離子清洗機產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個電極形成電場，用真空泵實現(xiàn)一定的真空度，隨著氣體愈來愈稀薄，分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長，受電場作用，它們發(fā)生碰撞而形成等離子體，這些離子的活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學鍵，在任何暴露的表面引起化學反應(yīng)，不同氣體的等離子體具有不同的化學性能，如氧氣的等離子體具有很高的氧化性，能氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體，從而達到清洗的效果；腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性，這樣就能滿足刻蝕的需要。利用等離子處理時會發(fā)出輝光，故稱之為輝光放電處理。
等離子體主要是通過氣體放電產(chǎn)生,其中包含電子、離子、自由基以及紫外線等高能量物質(zhì),具有活化材料表面的作用。例如,電子質(zhì)量小、移動速度快,可以先一步到達材料表面并使其帶有負電荷,同時對材料表面產(chǎn)生撞擊作用,可促使表面吸附的氣體分子解吸或分解,也有利于引發(fā)化學反應(yīng);材料表面帶有負電荷時,帶正電荷的離子會加速向其沖擊,所產(chǎn)生的濺射作用會將表面附著的顆粒性物質(zhì)除去;等離子體中自由基的存在對清洗作用具有非常重要的意義,由于自由基易與物體表面發(fā)生化學連鎖反應(yīng),產(chǎn)生新的自由基或進一步分解,最后可能會分解成揮發(fā)性的小分子;而紫外線具有很強的光能和穿透能力,可透過材料表面深達數(shù)微米而產(chǎn)生作用,使表面附著物質(zhì)的分子鍵斷裂分解。
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