一、設(shè)備型號(hào)及應(yīng)用
X07 M190×300-1D-O型多線切割機(jī)
本設(shè)備主要適用于6英寸及以下半導(dǎo)體材料、藍(lán)寶石、石英、陶瓷、玻璃、水晶等硬脆材料的高速高精度多片切割加工。
二、設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)
1、加工尺寸（直徑×長(zhǎng)）：φ150mm×300mm
2、主軸（直徑×長(zhǎng)度×根）：φ190mm±7.5mm×310mm×2軸
3、主軸間距：450mm
4、鋼線直徑：φ0.10mm～φ0.25mm
5、線速度：12m/s
6、工作臺(tái)最大行程：225mm
7、切削速度：0.01～9.99mm/min（根據(jù)用戶工藝可自行設(shè)定）
8、工作臺(tái)最高速度：300mm/min
9、主軸擺動(dòng)角度：±7deg
10、主軸擺動(dòng)頻率：30次/min
11、液桶容量：90L
12、供液量：200L/min
13、切割液溫度控制方式：熱交換器冷卻
14、外形尺寸（長(zhǎng)×寬×高）： 2550 mm×1900 mm×2450mm
15、設(shè)備重量：約5.5T
三、動(dòng)力單元
序號(hào) | 名稱 | 功率（kW）×數(shù)量 | 控制方式 |
1 | 主軸驅(qū)動(dòng)電機(jī) | 17.8×1 | 交流伺服 |
2 | 放線電機(jī)/收線電機(jī) | 7.37×2 | 交流伺服 |
3 | 排線電機(jī) | 0.33×2 | 交流伺服 |
4 | 工作臺(tái)升降電機(jī)（帶減速） | 1.45×1 | 交流伺服 |
5 | 張力控制電機(jī) | 4.15×2 | 交流伺服 |
6 | 主軸擺動(dòng)電機(jī)（帶減速） | 1.8×1 | 交流伺服 |
7 | 液泵電機(jī) | 4×1 | 變頻控制 |
四、設(shè)備的安裝
設(shè)備應(yīng)安裝在地面平坦，安裝厚度應(yīng)大于300mm，遠(yuǎn)離振動(dòng)源，無灰塵煙霧污染的場(chǎng)所。
- 工作溫度：15℃～25℃
- 氣源：0.4～0.6MPa
- 相對(duì)濕度：≤90%
- 冷水水源：0.25～0.4MPa
- 冷水流量：100～150L/min
- 冷水溫度：7～12℃
- 電源：AC380V，50Hz (三相五線制)
