美國Aalborg公司成立于1972年,是上的生產(chǎn)精密流量計及控制儀表的公司。Aalborg公司生產(chǎn)的轉(zhuǎn)子流量計和熱式質(zhì)量流量控制器目前已經(jīng)成為經(jīng)濟高效型流量測量及控制產(chǎn)品的代表。設計出了鋁,不銹鋼,銅,和PTFE材料的流量計,尤其是轉(zhuǎn)子流量計從微流量到工業(yè)級的范圍,熱式質(zhì)量流量控制器現(xiàn)場顯示以及電子式流量控制器在各種氣體和液體中都具有典型的應用特點。是世界上的氣體質(zhì)量流量計/控制器的生產(chǎn)廠家，其產(chǎn)品廣泛用于微電子工藝、真空鍍膜、 材料科學 、石油化工、醫(yī)藥、環(huán)保等領域。ABB調(diào)速器
主要產(chǎn)品：美國Aalborg氣體質(zhì)量流量計, Aalborg控制器
產(chǎn)品特點：性價比高、響應速度快、可靠性高，易于集成、環(huán)路保護、備總量計數(shù)器
典型應用：CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。Abbatron連接器
設計特點：
－剛性金屬結構
－流程范圍從0開始到10sccm直到0到1000slpm
－壓力500psig（34.5Bar）
－泄漏率1＊10-7氦氣
－NIST系統(tǒng)標定可追蹤的證明
－可傾斜的LCD讀表
－0-5Vdc或4-20mA信號輸出
－電路保護
－可用作便攜式的設備
－0到比例顯示
－可配備流量計算機
精度：±1.5％滿量程，包括59℉到77℉的氣體溫度（15℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的壓力。可選±1％滿量程（標定精度），在給定的溫度與壓力值條件下。
重復性：±0.5％滿量程
回應時間：實際流速±2％超過滿量程25-一般2秒
溫度系數(shù)：0.15％滿量程／℃
壓力系數(shù)：0.01％滿量程／psi（0.07bar）
氣體／周圍溫度：32℉-122℉（5℃-50℃）
輸出信號：0-5Vdc，最小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路電阻
傳感器輸出：＋12Vdc；200Ω。＋24Vdc可選
時間恒量：800ms
氣體壓力：1000psig（70bar）。可選20psig（1.4bar）
流體接觸面材質(zhì)：A：GFC鋁系列為陽極電鍍鋁、316不銹鋼、銅和氟橡膠圓環(huán)
B：GFC17S，37S，47S，57S，67S，77S不銹鋼系列：316不銹鋼、氟橡膠圓環(huán)可選氯丁橡膠圓環(huán)。AAF過濾器
方位靈敏度：水平到垂直旋轉(zhuǎn)低于15度；標準校準是在水平位置
連接：GFC17和37：1／4"卡套螺紋VCR®或1／8"卡套可選（GFC17）
GFC47：3／8"卡套螺紋
GFC57：3／8"卡套螺紋
GFC67：1／2"卡套螺紋
GFC77：3／4"卡套螺紋
VCR®或3／4"卡套可選（GFC77）
| AALBORG | 24K1 24K8 24K9 0,05 s-300h | 2 C/O inst.contact |
| AALBORG | 24K6 24K8 24K9 0,05 s-300h | 1 C/O inst.contact |
| AALBORG | GFM57 | N2 200SLPM 24VDC |
| AALBORG | PWM4 | |
| AALBORG | TYPE:mission om SN:19495 | cable H07RN-F 3G 1.5m㎡ |
| AALBORG | TYPE:mission om SN:19495 | cable H07RN-F 2G 1.0m㎡ |
| AALBORG | TYPE:mission om SN:19495 | cable high voltageD-8.0mm 2p/3 |
| AALBORG | GFC17S-VDDN4-EO | |
| AALBORG | GFC57AVDDN4 | |
| AALBORG | GFC77AVFDN4 | |
| AALBORG | GFC67AVEDN4 |
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