特征:
直線度可達(dá)10um
X軸***6m Y軸0.5m行程
以線性滑軌架構(gòu)之定位平臺
良好接地設(shè)計防止雜訊干擾
Z向震動可達(dá)奈米等級以下
***速度可達(dá)5m/s
標(biāo)準(zhǔn)重現(xiàn)精度1um或以下
位置回饋系統(tǒng)解析度***可達(dá)50nm
應(yīng)用:
半導(dǎo)體設(shè)備
自動化搬送
FPD設(shè)備
太陽能製造設(shè)備
PCB設(shè)備
水刀設(shè)備
鑽石切割產(chǎn)業(yè)
AOI檢測設(shè)備
工具機