四探針電阻率測(cè)試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)量。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測(cè)量,對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析,解決樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。
四探針電阻率測(cè)試儀按照硅片電阻率測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)(ASTM F84)及標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造該儀器設(shè)計(jì)符合
GB/T 1551-2009《硅單晶電阻率測(cè)定方法》、
GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流兩探針法》、
GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn),本機(jī)配置232電腦接口及USB兩種接口,本機(jī)結(jié)合采用范德堡測(cè)量原理能改善樣品因幾何尺寸、邊界效應(yīng)、探針不等距和機(jī)械游移等外部因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響及誤差,比市場(chǎng)上其他普通的四探針測(cè)試方法更加完善和進(jìn)步,特別是方塊電阻值較小的產(chǎn)品測(cè)量,更加準(zhǔn)確.
規(guī)格型號(hào) | 300c |
1.電阻 | 10-7~2×107Ω |
2.電阻率范圍 | 10-8~2×108Ω-cm |
3.電導(dǎo)率 | 5×10-8~108s/cm |
4.測(cè)試電流范圍 | 1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,1000mA |
5.測(cè)量電壓量程 | 測(cè)量電壓量程:2mV 20mV 200mV 2V 測(cè)量精度:±(0.1%讀數(shù)) 分辨率: 0.1uV 1uV 10uV 100uV |
6.電流精度 | ±0.1%讀數(shù) |
7.電阻精度 | ≤0.3% |
8.顯示讀數(shù) | 液晶顯示:電阻值、電阻率、電導(dǎo)率值、溫度、單位自動(dòng)換算、橫截面、高度、電流、電壓等 |
9.測(cè)試方式 | 四端測(cè)量法 |
10.測(cè)量裝置(治具) | 選購 1.標(biāo)準(zhǔn)方體和圓柱體測(cè)量裝置:測(cè)試行程:L70mm*W:60mm 2.定制治具 |
11.工作電源 | AC 220V±10%.50Hz功 耗 lt;30WH |
12. 主機(jī)外形尺寸 | 約330mm*350mm*120mm |
13.凈重量 | 約6kgNet |
14.標(biāo)配外選購 | 1.標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)電阻1-5個(gè);2.PC軟件一套;3.電腦和打印機(jī)依據(jù)客戶要求配置;4.計(jì)量證書1份 |
本儀器采用四探針單電測(cè)量法適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門,是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。
本儀器配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料。
液晶顯示,無需人工計(jì)算,并帶有溫度補(bǔ)償功能,電阻率單位自動(dòng)選擇,儀器自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程,無需人工多次和重復(fù)設(shè)置。
采用高精度AD芯片控制,恒流輸出,結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便,運(yùn)輸安全、使用方便;選配:配備軟件可以由電腦操控,并保存和打印數(shù)據(jù),自動(dòng)生成報(bào)表;
本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示,同時(shí)顯示液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率,配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購.
廣泛用于:
覆蓋膜;導(dǎo)電高分子膜,高、低溫電熱膜;隔熱、防輻射導(dǎo)電窗膜 導(dǎo)電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標(biāo)簽、合金類箔膜;熔煉、燒結(jié)、濺射、涂覆、涂布層,電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料,其他半導(dǎo)體材料、薄膜材料方阻測(cè)試
硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻 半導(dǎo)體材料/晶圓、太陽能電池、電子元器件,導(dǎo)電薄膜(ITO導(dǎo)電膜玻璃等),金屬膜,導(dǎo)電漆膜,蒸發(fā)鋁膜,PCB銅箔膜,EMI涂層等物質(zhì)的薄層電阻與電阻率 導(dǎo)電性油漆,導(dǎo)電性糊狀物,導(dǎo)電性塑料,導(dǎo)電性橡膠,導(dǎo)電性薄膜,金屬薄膜,抗靜電材料, EMI 防護(hù)材料,導(dǎo)電性纖維,導(dǎo)電性陶瓷等