高剛性研磨機--HRG300
HRG300 既可以對大尺寸晶圓(300 mm)進行單枚加工,也可以對小直徑工件進行多枚同時加工。
特點
■ 高剛性
■ 高加工效率
■ 低消耗
■ 搭載多枚同時加工的 IPG 功能
■ 加工時的磨輪修正單元(選配)
可研磨材料:難加工的硬脆材料,比如藍寶石,碳化硅,氮化鎵和氮化鋁
可加工尺寸:直徑2-12英寸
可加工厚度:20mm(包含基座)
●規(guī)格參數(shù)
類別 | HRG300 |
高剛性研磨機 | |
設備尺寸和重量 | 尺寸:1540(W)×1880(D)×2010(H) mm |
重量:3700 kg | |
加工直徑(mm) | 300 |
磨輪直徑(mm) | 300 |
磨輪轉(zhuǎn)速(rpm) | 3600 |
工作臺轉(zhuǎn)速(rpm) | 400 |
主軸功率(KW) | 11 |
工作臺功率(KW) | 2 |
全自動監(jiān)測 | 實時測量治具(支持多片同時加工) |
研磨精度(μm) | 0.1 |
不間斷修磨 | 選配 |