半自動晶圓減薄前貼膜機(jī)STK-620 衡鵬供應(yīng)
半自動晶圓減薄前貼膜機(jī)是桌上型/適用于 4”&5”&6”&8”晶圓/操作簡便。
半自動晶圓減薄前貼膜機(jī)STK-620規(guī)格:
晶圓尺寸:4”&5”&6”&8”晶圓;
晶圓厚度:300~750 微米;
晶圓種類:硅, 砷化鎵或其它;
單平邊,雙平邊,V 型缺口;
膠膜種類:藍(lán)膜或者 UV 膜;
寬度:120~240 毫米;
長度:100 米;
厚度:0.05~0.2 毫米;
貼膜原理:防靜電滾輪貼膜;
貼膜動作:自動拉膜和貼膜;
晶圓臺盤:通用(一體式)特氟隆防靜電涂層接觸式臺盤;或硅膠臺盤,或陶瓷臺盤;
裝卸方式:晶圓手動放置與取出;
防靜電控制:防靜電特氟隆涂層晶圓臺盤/防靜電貼膜滾輪/除靜電離子發(fā)生器;
切割系統(tǒng):*的手動可調(diào)整環(huán)形切刀適用于不同的晶圓外形,刀頭帶獨(dú)立加熱機(jī)構(gòu)無任何飛邊,并省去修邊。
*的手動直切刀設(shè)計,為省膜的設(shè)計;切割刀溫度:MAX達(dá) 150℃;
晶圓定位:通用標(biāo)線/彈簧銷釘;
控制單元:基于 PLC 控制,并帶 5.7”觸摸屏;
安全防護(hù):配置緊急停機(jī)按鈕;
電源電壓:相交流電 220V,10A;
壓縮空氣:5 公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘 2 立方英尺;
機(jī)器外殼:白色噴塑金屬外殼;
體積:560 毫米(寬)*880 毫米(深)*500 毫米(高);
凈重:80 公斤;
半自動晶圓減薄前貼膜機(jī)性能:
晶圓收益:≥99.9%;
貼膜質(zhì)量:沒有氣泡(不包括灰塵顆粒氣泡);
每小時產(chǎn)能:≥ 80 片晶圓;
更換產(chǎn)品時間:≤ 5 分鐘。
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