精密XY 平臺 AX型
因采用了精密研磨的斷面高度低的LM導(dǎo)軌與精密滾珠螺桿,是可高精度的定位給進(jìn)的精密XY工作臺。因?yàn)槭菦]有使用*的中間鞍座的組合,行程在一軸工作臺的組合下可以自由的選擇。
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對位平臺 CMX型
基座、上位工作臺之間的四個角落,安裝了將交叉型LM線軌、交叉滾柱軸承、及精密滾珠螺桿組合起來的模塊。因采用了這樣的*構(gòu)造,而實(shí)現(xiàn)了超薄型構(gòu)造的精密對位平臺。
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精密XY 平臺 DX型
引導(dǎo)部使用交叉LM導(dǎo)軌CSR型,驅(qū)動滾珠螺桿配置在CSR型的外側(cè),是中空無中間鞍座的XY工作臺。因?yàn)橹锌丈衔还ぷ髋_與中空基座之間的高剛性框架的四邊配置了交叉LM導(dǎo)軌CSR型,因此是簡單、高剛性、高度低的構(gòu)造。
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精密XY 平臺 EX型
因采用了交叉LM線軌CSR型,是沒有使用中間鞍座構(gòu)造簡單的XY工作臺。藉由采用將兩軸的馬達(dá)固定的特殊構(gòu)造,將動作部的重量降低到極限的輕量化,可控制XY各軸的慣性力,因此有*的高速應(yīng)答性。