半自動(dòng)晶圓減薄前貼膜機(jī)STK-6020可自動(dòng)拉膜和貼膜
半自動(dòng)晶圓減薄前貼膜機(jī)STK-6020規(guī)格:
晶圓尺寸:8”& 12”晶圓;
常規(guī)產(chǎn)品厚度:200~750 微米;
Bump 產(chǎn)品厚度:晶圓 200~400 微米;
凸塊 50~200 微米;
晶圓翹曲:≤5mm;
晶圓種類:硅, 砷化鎵或其它;
單平邊,V 型缺口;
膠膜種類:藍(lán)膜或者 UV 膜;
寬度:240~340 毫米;
長度:100 米;
厚度:0.05~0.2 毫米;
貼膜原理:防靜電滾輪貼膜;
滾輪溫度:室溫~80 攝氏度;
貼膜動(dòng)作:自動(dòng)拉膜和貼膜;
晶圓臺盤:二合一特氟隆防靜電涂層接觸式臺盤,或硅膠臺盤臺盤溫度:室溫~100℃;
裝卸方式:晶圓手動(dòng)放置與取出;
切割系統(tǒng):*的手動(dòng)可調(diào)整環(huán)形切刀,適用于不同的晶圓外形,刀頭帶獨(dú)立加熱機(jī)構(gòu),無任何飛邊并省去修邊;
*的手動(dòng)直切刀,為省膜的設(shè)計(jì);切割刀溫度:MAX達(dá) 150℃;
晶圓定位:通用標(biāo)線/彈簧銷釘;
控制單元:基于 PLC 控制,并帶 5.7”觸摸屏;
安全防護(hù):配置緊急停機(jī)按鈕;
電源電壓:相交流電 220V,10A;
壓縮空氣:5 公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘 2.5 立方英尺;
機(jī)器外殼:白色噴塑金屬外殼;
體積:670 毫米(寬)*1180 毫米(深)*550 毫米(高);
凈重:85 公斤;
半自動(dòng)晶圓減薄前貼膜機(jī)性能:
晶圓收益:≥99.9%;
貼膜質(zhì)量:沒有氣泡(不包括灰塵顆粒氣泡);
每小時(shí)產(chǎn)能:≥ 30~70 片晶圓;
更換產(chǎn)品時(shí)間:≤ 5 分鐘
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