特性
■高速
音圈電機(jī)模組可以直接將電磁力轉(zhuǎn)換為直線運(yùn)動(dòng),能產(chǎn)生高速運(yùn)動(dòng)。
■高精度
全閉環(huán)反饋控制直接驅(qū)動(dòng)和線性編碼器消除運(yùn)動(dòng)損失和背隙,實(shí)現(xiàn)高精度。
■高響應(yīng)
通過與運(yùn)動(dòng)控制器的結(jié)合,實(shí)現(xiàn)了高響應(yīng)。
適用領(lǐng)域
計(jì)量、光子學(xué)、半導(dǎo)體、顯示器等制造中的精密掃描