半自動LED_UV照射機STK-1020 衡鵬瑞和
LED半自動UV照射機STK-1020概要:
STK-1020半自動LED-UV照射機專門用于硅晶圓、玻璃、陶瓷等產(chǎn)品切割后的解膠工序,采用手動上下料方式,配備觸摸顯示屏,操作方便快捷。機臺的LED UV工作模組可發(fā)出波長為365nm的紫外光對產(chǎn)品進行照射解膠。UV照射能量出廠*設(shè)置為450mW/cm2。同時設(shè)備配置有UV安全保護裝置。
UV照射機STK-1020產(chǎn)品規(guī)格:
物料規(guī)格:可支持 6”~12”Frame
UV單元:1 套 LED UV 模組
UV波長:365 nm
UV照射能量:50~450 mW/ cm2,照射能量實時監(jiān)測,能量可程序調(diào)節(jié)。
UV照射均勻性:<=±10 %
UV照射時間: 0~999sec,程序可設(shè)定
掃描速度:0~100 mm /s, 程序可設(shè)定
燈箱溫度:實時監(jiān)控?zé)纛^和燈箱溫度
UV燈類型:LED 型冷光源,能量強,壽命長,能耗低,發(fā)熱量小
控制單元:PLC 和觸摸屏
上料/下料:手動
電源:單相 220V, 6A
氣體:氮氣可選配
設(shè)備外殼:白色噴涂外殼
設(shè)備尺寸:780mm(寬) x 620mm(深) x 300mm(高)
設(shè)備凈重:約 300kg
晶圓良率:>=99.99%
更換產(chǎn)品時間:<=5 分鐘
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