CLEAN ROOM SYSTEM 裝置是皮帶傳動線性單元,是專為潔凈室應(yīng)用而設(shè)計的
該直線裝置可以防止顆粒物被釋放到其所在的環(huán)境中。實現(xiàn)的方法是通過使用一種特殊的直密封件,這種密封件封閉水平方向的開口(滑塊在其中運動),還有一個 0.8 真空泵的運行,真空泵連接到位于驅(qū)動頭和空閑頭內(nèi)部的 2 個真空管道。該系統(tǒng)允許在這個裝置內(nèi)產(chǎn)生真空,這樣該系統(tǒng)運行時釋放的任何顆粒物都會被吸向空氣過濾區(qū)。Clean Room System 直線執(zhí)行器的部件均采用不銹鋼制成,或經(jīng)過特殊處理,以確保低顆粒釋放量。所有軸承和直線滑軌的潤滑劑都是用于潔凈室或真空環(huán)境的潤滑劑。
如果該系統(tǒng)被用于臟環(huán)境中,這個 CLEAN ROOM SYSTEM 直線裝置可被加壓至 0.8 巴,以防止任何外部顆粒對平穩(wěn)運行產(chǎn)生不利影響。
Clean Room System 直線裝置的主要應(yīng)用領(lǐng)域:
- 半導(dǎo)體
- 醫(yī)療