適用范圍:
非常適合于工件硬度比較高,厚度超薄,且加工精度要求高的產(chǎn)品。如:LED藍寶石襯底、石英晶片、硅片、諸片、陶瓷片、鎢鋼片以及各種金屬材料的快速減薄。
高精密橫向研磨機設(shè)備原理:1.本系列橫向減薄研磨機為全自動精密磨削設(shè)備,由真空吸盤或者電磁吸盤吸附工件與磨輪作相反方向旋轉(zhuǎn)運動,磨輪前后擺動。該方法磨削阻力小、工件不會破損,而且磨削均勻生產(chǎn)效率高。
2.設(shè)備可自動對刀、實際檢測磨削扭力、自動調(diào)節(jié)工件磨削速度,從而防止工件磨削過程中因壓力過大產(chǎn)生變形及破損,自動補償砂輪磨損厚度尺寸。
高精密橫向研磨機設(shè)備特點:
1.可使直徑200晶片厚度減薄到0.08mm厚而不會破碎。而且平行度與平面度可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。
2.減薄效率高,LED藍寶石襯底每分鐘磨削速度*可減薄48微米。硅片每分鐘磨削速度*可減薄250微米。
3.系列研磨機采用CNC程控系統(tǒng),觸摸屏操作面板。
設(shè)備圖片:
技術(shù)參數(shù):
型號 | FD-200WH |
金剛石磨輪尺寸 | 直徑200*H25 |
工件*加尺寸 | 直徑200mm |
工件轉(zhuǎn)速(可調(diào)) | 0---1000rpm |
磨輪轉(zhuǎn)速(可調(diào)) | 0---2000rpm |
磨輪電機功率 | 1.5kw.380V,3相 |
吸盤主軸電機功率 | 0.75kw.380V,3相 |
控制精度(平行度) | 1um(直徑100mm) |
外形尺寸 | 1200*550*1550 |
重量 | 760kg |