100級(jí)無塵烤箱CM-100T_晶圓PI膠固化

100級(jí)無塵烤箱CM-100T概述： 
晶圓PI膠固化烤箱CM-100T是參照 Federal Standard(FS)209E 無塵等級(jí)規(guī)格研發(fā)制造，廣泛應(yīng)用于電子液晶顯示屏、LCD、CMOS、IC、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。采用平面水平送風(fēng)，然后經(jīng)過進(jìn)口HEPA Filter裝置 (特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))送風(fēng)，過濾效率可達(dá)99.99%，滿足Class 100級(jí)無塵規(guī)格，排氣口為3"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門功能),以達(dá)到強(qiáng)烈循環(huán)的效果。

100級(jí)無塵烤箱CM-100T箱體結(jié)構(gòu)：
·烘箱由箱體部分、電器控制柜部分、電加熱器及風(fēng)道系統(tǒng)部分組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，外型美觀大方
·全周氬弧焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電加熱器，防止機(jī)臺(tái)本身產(chǎn)生微塵
·箱體材料：SUS304#不銹鋼板
·內(nèi)膽材料：采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，
·并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污以避免烘烤時(shí)產(chǎn)生微塵
·中桶材料：采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，
·并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬弧焊密封加工(防污染)
·保溫材料：采用正廠*玻璃纖維公司出品，100K級(jí)高密度高保溫板制造
·電熱器：采用進(jìn)口覆套式電加熱器 (SHEATHED HEATER)，為無塵化電熱發(fā)生器
·潔凈度：烤箱內(nèi)部均采用無塵化配件及材料

CM-100T（100級(jí)無塵烤箱）規(guī)格：  
無塵等級(jí)        Class 100
溫度范圍        室溫～+250℃
升溫速度        常溫～+200℃, 升溫斜率程序可控
溫度均勻度      ±1%；（空載）
溫度精確度      ±1℃；（空載）
工作室尺寸      W600×H550×D500 mm
外形尺寸        W1100×H1700×D1220 mm
加熱功率        14kw
層板            共2片
環(huán)境條件        溫度 5～40℃；濕度 ≤85%R.H
電源            AC380v , 三相，50Hz
氣壓            86～106Kpa
使用條件        無強(qiáng)烈振動(dòng)，無強(qiáng)磁場影響，無腐蝕性氣體
                箱體周圍應(yīng)留有500mm的空間供設(shè)備安裝、維修使用

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