★ 透過特殊交叉滾柱軸承施加預(yù)壓,達(dá)高剛性、高精度表現(xiàn)
★ 中空結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),可作為光學(xué)式檢查裝置或?qū)y(cè)試器使用
★ 在各運(yùn)動(dòng)軌道加入潤滑系統(tǒng)，提高對(duì)位平臺(tái)使用的壽命及精度
★ 材料皆經(jīng)超深冷處理,有效預(yù)防變型,大幅提升使用壽命,質(zhì)量及效能
★ 實(shí)行三次元全檢,保證滑臺(tái)出廠精度與質(zhì)量
| 型號(hào) | 工作臺(tái)面尺寸 (mm) | 基座尺寸 (mm) | 行程 (mm) | 角度(θ) | 水平負(fù)載能力 (kgf) | 反復(fù)定位精度(um) |
| GAS02-400CC | 400x400 | 500x500 | ±10x±10 | ±3.5° | 105 | UP：±1 |
| GAS02-400RS | 400x400 | 500x500 | ±10x±10 | ±3.5° | 130 | UP：±1 |
| GAS02-500CC | 500x500 | 600x600 | ±10x±10 | ±2.5° | 105 | UP：±1 |
| GAS02-500RS | 500x500 | 600x600 | ±10x±10 | ±2.5° | 130 | UP：±1 |
| GAS02-750CC | 750x750 | 850x850 | ±10x±10 | ±1.5° | 105 | UP：±1 |
| GAS02-750RS | 750x750 | 850x850 | ±10x±10 | ±1.5° | 130 | UP：±1 |
| 特性介紹 |
| ♦ 採用了劃時(shí)代性模組結(jié)構(gòu)的超薄型平臺(tái) 在基座、工作臺(tái)之間的四端平面裝上組合了MINI STAGE XYθ軸滑臺(tái)組和特殊交叉滾柱軸承的模組之*性，實(shí)現(xiàn)了超薄型結(jié)構(gòu)。 ♦ 高剛性、高精度 對(duì)于構(gòu)成模組的MINI STAGE XYθ軸滑臺(tái)組的特殊交叉滾柱施加了預(yù)壓，達(dá)到高精度、高剛性的結(jié)構(gòu)。 ♦ 超薄型、輕量化、中空結(jié)構(gòu) 採用XYθ模組化結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了無中座、薄而輕的機(jī)構(gòu)，可作為光學(xué)式檢查裝置或?qū)y(cè)試時(shí)使用。 ♦ 潤滑系統(tǒng) 在各種運(yùn)動(dòng)軌道加入潤滑系統(tǒng)，確保潤滑脂補(bǔ)充，提高對(duì)位平臺(tái)使用的壽命及精度。 ♦ 尺寸齊全 適用各種機(jī)型運(yùn)用 工作臺(tái)面尺寸口100mm~口1500mm，為了可以對(duì)應(yīng)更大的精度荷載，可藉由增加從動(dòng)模組之?dāng)?shù)量來達(dá)成。
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| 產(chǎn)業(yè)應(yīng)用介紹 |
| ♦ 面板貼合機(jī) ♦ 面板貼膜機(jī) ♦ 網(wǎng)版及3D網(wǎng)版印刷 ♦ 玻璃側(cè)角及磨邊設(shè)備 ♦ Wafe對(duì)位設(shè)備 ♦ P.C.D曝光設(shè)備 ♦ 軟體裁切設(shè)備 ♦ 半導(dǎo)體設(shè)備 |
結(jié)構(gòu)說明 |
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動(dòng)作原理 |
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