XXY精密對位平臺
臺面尺寸 : 100、160、190、200、250 (mm)
基座尺寸 : 120、170、210、350 (mm)
機械作動原理-*傳動-標準型、輕量型、重載型
★ 超薄型、輕量化平臺-采用Mini stage Xyθ模塊化結構,實現(xiàn)無中座的薄且輕的機構
★ 透過特殊交叉滾柱軸承施加預壓,達高剛性、高精度表現(xiàn)
★ 中空結構設計,可作為光學式檢查裝置或導通測試器使用
★ 在各運動軌道加入潤滑系統(tǒng),提高對位平臺使用的壽命及精度
★ 材料皆經(jīng)超深冷處理,有效預防變型,大幅提升使用壽命,質(zhì)量及效能
★ 實行三次元全檢,保證滑臺出廠精度與質(zhì)量
型號 | 工作臺面尺寸 (mm) | 基座尺寸 (mm) | 行程 (mm) | 水平負載能力 (kgf) |
![]() | 100x100 | 120x120 | ±2x±2 | 5 |
![]() | 160x160 | 170x170 | ±3x±3 | 20 |
![]() | 160x160 | 170x170 | ±3x±3 | 30 |
![]() | 160x160 | 170x170 | ±3x±3 | 30 |
![]() | 160x160 | 170x170 | ±3x±3 | 50 |
![]() | 190x190 | 210x210 | ±4x±4 | 65 |
![]() | 200x200 | 350x350 | ±8x±8 | 110 |
![]() | 200x200 | 350x350 | ±8x±8 | 120 |
![]() | 200x200 | 350x350 | ±8x±8 | 130 |